[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，将含有异丙醇的含异丙醇液供给至被保持为水平的基板，包括：

基板保持单元，用于将基板保持为水平，

冲洗液供给单元，用于将含有水的冲洗液供给至由所述基板保持单元保持的基板，

第一异丙醇供给系统，用于将含异丙醇液供给至由所述基板保持单元保持的基板，包括用于贮留要被供给至由所述基板保持单元保持的基板的含异丙醇液的第一贮留槽，

第二异丙醇供给系统，用于将水分浓度比由所述第一异丙醇供给系统供给的含异丙醇液的水分浓度更低的含异丙醇液，供给至由所述基板保持单元保持的基板，

回收单元，用于将被供给至由所述基板保持单元保持的基板的含异丙醇液，回收至所述第一异丙醇供给系统及第二异丙醇供给系统双方或所述第一异丙醇供给系统，包括用于贮留被供给至由所述基板保持单元保持的基板的含异丙醇液的中间槽，所述中间槽连接于所述第一贮留槽，以及

控制装置，用于控制所述冲洗液供给单元、所述第一异丙醇供给系统、所述第二异丙醇供给系统、及所述回收单元；

所述控制装置执行如下步骤：

冲洗液供给步骤，用于使所述冲洗液供给单元将冲洗液供给至所述基板，

第一异丙醇供给步骤，在所述冲洗液供给步骤之后，使所述第一异丙醇供给系统将含异丙醇液供给至附着有冲洗液的所述基板，

第二异丙醇供给步骤，在所述第一异丙醇供给步骤之后，使所述第二异丙醇供给系统将含异丙醇液供给至所述基板，以及

回收步骤，用于使所述回收单元回收在所述第一异丙醇供给步骤及所述第二异丙醇供给步骤中的至少一方被供给至所述基板的含异丙醇液；

所述回收步骤包括：

贮留步骤，用于将在所述第一异丙醇供给步骤及所述第二异丙醇供给步骤中的至少一方被供给至所述基板的含异丙醇液贮留于所述中间槽，以及

供给步骤，在所述第一异丙醇供给步骤及所述第二异丙醇供给步骤之后，将所述中间槽内的含异丙醇液供给至所述第一贮留槽。

2.如权利要求1所记载的基板处理装置，其中，

所述基板处理装置还包括：

排液单元，用于将被供给至由所述基板保持单元保持的基板的含异丙醇液，在被回收至所述第一异丙醇供给系统及第二异丙醇供给系统双方或所述第一异丙醇供给系统之前，从所述回收单元排出；

所述控制装置还执行：

排液步骤，在所述回收步骤之前，使所述排液单元排出在所述第一异丙醇供给步骤被供给至所述基板的含异丙醇液。

3.如权利要求1或2所记载的基板处理装置，其中，

所述第一异丙醇供给系统将由所述回收单元回收后的尚未被脱水的含异丙醇液，供给至由所述基板保持单元保持的基板；

所述第二异丙醇供给系统将水分浓度比由所述第一异丙醇供给系统供给的含异丙醇液的水分浓度更低的未使用的含异丙醇液，供给至由所述基板保持单元保持的基板。