[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201680041485.6 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107849685B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 水谷和挥;片山幸祐 | 申请（专利权）人： | 爱信精机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 青炜;尹文会 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀装置，其中，具备：
保持部，其保持基材；
丝型加热器，其由通过通电而发热的线状的发热体构成，具有通过将上述线状的发热体折弯而形成为能够收纳蒸镀材料的收纳部，配设为使上述收纳部相对于被保持于上述保持部的上述基材沿水平方向分离规定的距离而设置；以及
反射板，其在从被保持于上述保持部的上述基材观察时，配设在被收纳于上述收纳部的上述蒸镀材料的后方，并且构成为从上述丝型加热器向该反射板传递热量，
上述反射板配设于上述收纳部内，
上述反射板在上述收纳部内从后方覆盖被收纳于上述收纳部的上述蒸镀材料。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其中，
通过将上述线状的发热体卷绕为螺旋状，从而使得上述收纳部的外形形状形成为向下凸出的圆锥形状，
上述反射板形成为半圆锥形状，以向下凸出的方式配设于上述收纳部内。
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