[发明专利]蒸镀装置

说明书

立式蒸镀装置具备：保持部，其保持基材；丝型加热器，其由通过通电而发热的线状的发热体构成，具有通过将线状的发热体折弯而形成为能够收纳蒸镀材料的收纳部，配设为使收纳部相对于被保持于保持部的基材沿水平方向分离规定的距离而设置；以及反射板，其在从被保持于保持部的基材观察时配设在被收纳于收纳部的蒸镀材料的后方，并且构成为从丝型加热器向该反射板传递热量。

技术领域

本发明涉及蒸镀装置。

背景技术

用于使薄膜在基材表面成膜的蒸镀装置具备保持基材的保持部、用于加热固体状的蒸镀材料的加热器。利用加热器的热量加热蒸镀材料，由此从蒸镀材料产生蒸汽。产生的蒸汽与被保持在保持部的基材表面(蒸镀面)接触，在接触部位冷却而凝固。这样凝固的微小的固体粒子在蒸镀面均匀蒸镀，由此使薄膜在蒸镀面成膜。

专利文献1和专利文献2公开了以包围从蒸镀材料到基材的空间的方式配设反射板并且加热该反射板而构成的蒸镀装置。根据专利文献1和专利文献2记载的蒸镀装置，从蒸镀材料蒸发的蒸汽与反射板接触。与反射板接触的蒸汽在反射板上凝固而形成固体粒子。该固体粒子在反射板上被加热由此再次蒸发。使再次蒸发的蒸汽与基材的蒸镀面接触，由此能够提高蒸镀材料的收获率(蒸镀效率)。

专利文献1：日本特开平5-70932号公报

专利文献2：日本特开平8-53763号公报

根据专利文献1和专利文献2公开的蒸镀装置，都向上表面开口的耐热容器投入蒸镀材料。而且，利用加热器加热耐热容器，从而加热耐热容器内部的蒸镀材料，从蒸镀材料产生蒸汽。此时，由于收纳有蒸镀材料的耐热容器的上表面开口，所以来自蒸镀材料的蒸汽基本朝上方行进。因此，向上方行进的蒸汽所接触的基材表面(蒸镀面)以相对于与蒸汽的行进方向垂直的方向，即水平方向(横向)平行的方式配置。以使这样的蒸镀面与水平方向平行地配置的方式将基材保持于保持部的蒸镀装置被称为卧式蒸镀装置。另一方面，以使蒸镀面与铅垂方向平行地配置的方式将基材保持于保持部的蒸镀装置被称为立式蒸镀装置。

在使用立式蒸镀装置使薄膜在基材表面(蒸镀面)成膜的情况下，以使蒸镀面与铅垂方向平行地配置的方式将基材保持于保持部，所以与该蒸镀面接触的蒸汽的行进方向是蒸镀面的垂直方向，即水平方向。在该情况下，作为用于加热蒸镀材料的加热器，一般使用丝型加热器。

丝型加热器具有由通电后发热的线状的发热体构成并且形成为能够收纳蒸镀材料的收纳部。在丝型加热器发热的情况下，收纳于收纳部内的蒸镀材料被加热，由此从蒸镀材料蒸汽产生。该收纳部通过将线状的发热体折弯而形成。因此，在构成收纳部的线状的发热体和与其邻接的线状的发热体之间形成间隙。即在收纳部形成很多间隙。因此，在丝型加热器发热而从收纳于收纳部的蒸镀材料产生蒸汽的情况下，该蒸汽从形成于收纳部的间隙通过而全方位地行进。

这样，通过使用丝型加热器，由此能够使从蒸镀材料产生的蒸汽全方位地行进，所以使沿朝向全方位行进的蒸汽中基材的水平方向行进的蒸汽与蒸镀面接触，由此能够使薄膜在蒸镀面成膜。

然而，在使用丝型加热器的情况下，在从蒸镀材料观察朝向基材的方向行进的蒸汽与蒸镀面接触，但在除此以外的方向行进的蒸汽不与蒸镀面接触。即在单一方向行进的蒸汽有助于蒸镀，在除此以外的方向行进的蒸汽对蒸镀没有用。因此，在使用丝型加热器的情况下，存在蒸镀材料的收获率非常低的问题。

发明内容

本发明目的是提供一种构成为提高蒸镀材料的收获率的使用丝型加热器的蒸镀装置。