[发明专利]缺陷测量方法、缺陷测量装置及检查探针

权利要求书

1.一种缺陷测量方法，是磁性体部件的缺陷测量方法，其特征在于，包括：

测量步骤，使用具备磁铁、和配置在所述磁铁及所述磁性体部件所形成的磁路上并探测流过该磁路的磁通密度的磁传感器的检查探针，来测量所述磁传感器的输出；

缺陷面判定步骤，判定缺陷是在所述磁性体部件中的作为与所述检查探针的对置面的表面产生的表面缺陷，还是在该对置面的背面产生的背面缺陷；以及

评价步骤，通过将分别针对表面缺陷及背面缺陷而预先设定的评价算法之中与所述缺陷面判定步骤的判定结果相应的评价算法应用于所述磁传感器的输出信号，由此来进行所述磁性体部件的缺陷的定量评价，

所述磁性体部件为磁性体管，

在所述测量步骤中，使所述检查探针在所述磁性体管内沿着该磁性体管的轴方向移动，

所述磁传感器输出与磁通密度相应的电压值，

所述评价步骤包括：截面缺损率计算步骤，计算缺损的截面面积相对于与所述磁性体管的轴方向垂直的截面中的截面面积的比率即截面缺损率，

在所述截面缺损率计算步骤中，基于截面缺损率计算公式、和测量所述磁性体管时的各所述磁传感器的输出电压值的合计值来计算所述磁性体管的截面缺损率，其中，所述截面缺损率计算公式是基于由各所述磁传感器测量形成于试验用磁性体管的多种缺陷时的各所述磁传感器的输出电压值的合计值、与形成于试验用磁性体管的各所述缺陷的实际的截面缺损率之间的关系而预先设定的。

2.根据权利要求1所述的缺陷测量方法，其特征在于，

所述缺陷测量方法包括：涡流探伤步骤，进行所述磁性体部件的涡流探伤检查，

在所述缺陷面判定步骤中，基于所述涡流探伤检查的结果，来判定缺陷存在于所述磁性体部件的表面与背面的哪一面。

3.根据权利要求2所述的缺陷测量方法，其特征在于，

所述检查探针具备：

多个磁铁，沿着与所述磁性体部件的对置面配置为形成海尔贝克排列；以及

涡流探伤用传感器，配置在所述多个磁铁之中的配置于海尔贝克排列的中央部的磁铁中的与所述磁性体部件的对置面侧，且用于进行所述涡流探伤检查，

所述磁传感器配置在所述多个磁铁之中的配置于海尔贝克排列的端部的磁铁及所述磁性体部件所形成的磁路上，并探测流过该磁路的磁通密度。

4.根据权利要求1所述的缺陷测量方法，其特征在于，

所述评价步骤包括：缺陷范围计算步骤，计算缺陷范围，该缺陷范围表示与所述磁性体管的轴方向垂直的截面中的沿着周向的缺陷的范围，

在所述缺陷范围计算步骤中，基于缺陷范围计算用数据、和测量所述磁性体管时的各所述磁传感器的输出电压值的最大值、及各所述磁传感器的输出电压值除以所述最大值获得的值的合计值，计算所述磁性体管中的缺陷的缺陷范围，其中，所述缺陷范围计算用数据是基于测量形成于试验用磁性体管的多种缺陷时的各所述磁传感器的输出电压值之中的最大值、各所述磁传感器的输出电压值除以所述最大值获得的值的合计值、与形成于试验用磁性体管的各所述缺陷的实际的缺陷范围之间的关系而预先设定的。