[发明专利]含有磺基酯的铵盐的减少缺陷用冲洗溶液

权利要求书

1.包含一种或多种选自如下的化合物的一种或多种铵盐的组合物在清洁或冲洗包含基材和承载于其上的具有线宽为50nm及更小的线-间隙结构的图案化材料层的产品中的用途：

磺基丁二酸二酯，

(磺基甲基)丁二酸二酯，

甲基磺基丁二酸二酯，

磺基戊二酸二酯，和

磺基丙三羧酸三酯。

2.根据权利要求1的用途，其中一种或者不止一种铵盐中的至少一种包含至少一个选自如下的铵阳离子：

-三(2-羟基乙基)铵，

-二(2-羟基乙基)铵，

-三(2-羟基乙基)甲基铵，

-二(2-羟基乙基)二甲基铵，

-2-羟基乙基三甲基铵，

-2-羟基乙基三乙基铵，

-2-羟基丙基三甲基铵，

-二(2-羟基丙基)二甲基铵，和

-三(2-羟基丙基)甲基铵。

3.根据权利要求1的用途，其中一种或者不止一种铵盐中的至少一种包含具有2或3个通式(1)的酯基的阴离子：

其中在通式(1)的各酯基中，相互独立地：

-n为0、1或2，

-X为氢、甲基或乙基，

-R选自：

-未被取代支化烷基，

-未被取代线性烷基，

-被取代线性烷基，

-被取代支化烷基，

-未被取代支化链烯基，

-未被取代线性链烯基，

-被取代线性链烯基，和

-被取代支化链烯基。

4.根据权利要求2的用途，其中一种或者不止一种铵盐中的至少一种包含具有2或3个通式(1)的酯基的阴离子：

其中在通式(1)的各酯基中，相互独立地：

-n为0、1或2，

-X为氢、甲基或乙基，

-R选自：

-未被取代支化烷基，

-未被取代线性烷基，

-被取代线性烷基，

-被取代支化烷基，

-未被取代支化链烯基，

-未被取代线性链烯基，

-被取代线性链烯基，和

-被取代支化链烯基。

5.根据权利要求3的用途，其中R选自：

-未被取代支化烷基，和

-未被取代支化链烯基。

6.根据权利要求5的用途，其中在通式(1)的各酯基中，相互独立地：

(a)(i)R在未被取代支化烷基或未被取代支化链烯基的主碳链中具有的总碳原子数为5-8个碳原子，和/或

(ii)R在未被取代支化烷基或未被取代支化链烯基的侧链中具有的总碳原子数为1-4个碳原子，和/或

(b)n为0且R为用相应羧基酯化的醇的残基，其中所述醇具有的支化因子为0.1-8。

7.根据权利要求3的用途，其中R相互独立地选自：

-3,5,5-三甲基己基，

-2-乙基己基，

-3,3-二甲基丁基，

-2,4,4-三甲基戊基，

-2,2-二甲基丙基，

-2-丙基庚基，

-异壬基，

-异癸基，

-异十三烷基，

-2,6-二甲基-4-庚基，

-1-异丁基-3,5-二甲基己基，

-5,7,7-三甲基-2-(1,3,3-三甲基丁基)辛基，

-2-丙基戊基，

-1-乙基-2-甲基戊基，和

-6-甲基-2-庚基。

8.根据权利要求1-7中任一项的用途，其中所述组合物包含：

-一种或多种包含三甲基-2-羟基乙基铵阳离子的铵盐，和

-下列阴离子中的一种或多种：

其中R1选自：

-3,5,5-三甲基己基，

-2-乙基己基，

-3,3-二甲基-2-丁基，和

-2,4,4-三甲基戊基。