[发明专利]在驱动模式具有最小化的干扰运动的转速传感器

权利要求书

1.转速传感器(1)，具有带有主延伸平面(100)的衬底(3)和至少一个相对于所述衬底(3)能运动的第一结构(5)和至少一个相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)能运动的第二结构(7)，其中，所述转速传感器(1)包括至少一个第一驱动结构(9)用于使所述第一结构(5)从所述第一结构(5)的静止位置中以平行于第一轴线(Y)的运动分量偏移，其中，所述转速传感器(1)包括至少一个第二驱动结构(11)用于使所述第二结构(7)从所述第二结构(7)的静止位置中以平行于第一轴线(Y)的运动分量偏移，其中，所述第一结构(5)和所述第二结构(7)能够被激励而以平行于所述第一轴线(Y)的运动分量反相地振动，其特征在于，所述第一驱动结构(9)具有至少一个固定在所述衬底(3)上的第一弹簧(13)，使得所述第一弹簧(13)抵抗所述第一结构(5)的围绕与垂直于所述主延伸平面(100)走向的第二轴线(Z)平行走向的轴线的偏转，其中，所述第二驱动结构(11)具有至少一个固定在所述衬底(3)上的第二弹簧(15)，使得所述第二弹簧(15)抵抗所述第二结构(7)的围绕与所述第二轴线(Z)平行走向的另一轴线的偏转，其中，所述第一弹簧(13)和/或所述第二弹簧(15)包括至少一个固定在衬底上的第一弹簧梁(39)、至少一个固定在衬底上的第二弹簧梁(41)、至少一个连接所述第一弹簧梁(39)和所述第二弹簧梁(41)的抗弯梁(43)、至少一个连接所述抗弯梁(43)和相应的驱动结构(9、11)的第三弹簧梁(45)和至少一个连接所述抗弯梁(43)和所述相应的驱动结构(9、11)的第四弹簧梁(47)。

2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括至少一个第三驱动结构(17)用于使所述第一结构(5)从所述第一结构(5)的静止位置中以平行于所述第一轴线(Y)的运动分量偏移，其中，所述第三驱动结构(17)具有至少一个固定在所述衬底(3)上的第三弹簧(21)，使得所述第三弹簧(21)抵抗所述第一结构(5)的围绕与所述第二轴线(Z)平行走向的轴线的偏转。

3.根据权利要求2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括至少一个第四驱动结构(19)用于使所述第二结构(7)从所述第二结构(7)的静止位置中以平行于所述第一轴线(Y)的运动分量偏移，其中，所述第四驱动结构(19)具有至少一个固定在所述衬底(3)上的第四弹簧(23)，使得所述第四弹簧(23)抵抗所述第二结构(7)的围绕与所述第二轴线(Z)平行走向的所述另一轴线的偏转。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括用于使所述第一驱动结构(9)与所述第二驱动结构(11)耦合的第一耦合结构(25)，使得所述第一驱动结构(9)和所述第二驱动结构(11)能够偏移产生具有平行于所述第一轴线(Y)的运动分量的反相的振动。

5.根据权利要求3所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括用于使所述第三驱动结构(17)与所述第四驱动结构(19)耦合的第二耦合结构(27)，使得所述第三驱动结构(17)和所述第四驱动结构(19)能够偏移产生具有平行于所述第一轴线(Y)的运动分量的反相的振动。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括由所述第一结构(5)并且由所述第二结构(7)部分包围的、用于使所述第一结构(5)与所述第二结构(7)耦合的第三耦合结构(29)，使得所述第一结构(5)和所述第二结构(7)能够偏移产生具有平行于所述第一轴线(Y)的运动分量和/或具有与垂直于所述第一轴线(Y)并且垂直于所述第二轴线(Z)走向的第三轴线(X)平行的运动分量的反相的振动。