[发明专利]在驱动模式具有最小化的干扰运动的转速传感器

说明书

本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的第一结构和至少一个相对于衬底并且相对于第一结构可运动的第二结构，其中，转速传感器包括至少一个第一驱动结构用于使第一结构从第一结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，转速传感器包括至少一个第二驱动结构用于使第二结构从第二结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，第一结构和第二结构可以被激励而以基本上平行于第一轴线的运动分量基本上反相地振动，其中，第一驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第一弹簧，使得该第一弹簧抵抗第一结构的基本上围绕与垂直于主延伸平面走向的第二轴线平行走向的轴线的偏转，其中，第二驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第二弹簧，使得该第二弹簧抵抗第二结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的另一轴线的偏转。

技术领域

本发明涉及一种根据权利要求1前序部分所述的转速传感器。

背景技术

此类转速传感器例如由DE 10 2011 006 394 A1已知。这种转速传感器的第一和第二结构在反相振动中分别实施正交于驱动方向、即正交于第一轴线的往复运动或者说2f运动。由此在驱动频率加倍的情况下引起探测信号或者说2f信号。

发明内容

相对于现有技术，根据本发明的转速传感器具有以下优点：根据本发明的转速传感器能够有针对性地实现2f运动的减少并且由此实现2f信号的减少，而不会对其余传感器特性产生消极影响。同时，根据本发明的转速传感器相比于现有技术具有简单的、机械稳健的并且成本有利的构造。此外，能够实现在相对于现有技术小的衬底面上的转速传感器，因为对于微机械结构而言仅需要相对于现有技术小的衬底面用于探测转速。此外，提供相对于外部干扰影响稳健的转速传感器。这通过以下方式来实现：相对于现有技术，第一驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第一弹簧，使得第一弹簧抵抗第一结构的基本上围绕与垂直于主延伸平面走向的第二轴线平行走向的轴线的偏转，其中，第二驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第二弹簧，使得第二弹簧抵抗第二结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的另一轴线的偏转。由此可以借助于第一弹簧和/或第二弹簧有针对性地调节转速传感器的机械非线性并且由此可以减少2f运动以及2f信号。

本发明的有利构型和扩展方案可以由从属权利要求以及参考附图的描述得知。

根据优选的扩展方案设置为，转速传感器包括至少一个第三驱动结构用于使第一结构从第一结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，第三驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第三弹簧，使得第三弹簧抵抗第一结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的轴线的偏转。由此以有利的方式提出一种转速传感器，可以借助于第三弹簧有针对性地调节该转速传感器的非线性，并且由此可以使该转速传感器的2f运动以及通过所述2f运动产生的2f信号有针对性地减少。

根据优选的扩展方案设置为，转速传感器包括至少一个第四驱动结构用于使第二结构从第二结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，第四驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第四弹簧，使得第四弹簧抵抗第二结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的所述另一轴线的偏转。由此能够有利地实现：可以借助于第四弹簧有针对性地调节非线性，并且由此可以使2f运动以及通过所述2f运动产生的2f信号有针对性地减少。

根据优选的扩展方案设置为，转速传感器如此包括用于使第一驱动结构与第二驱动结构耦合的第一耦合结构，使得第一驱动结构和第二驱动结构可以偏移产生具有基本上平行于第一轴线的运动分量的基本上反相的振动。由此能够有利地实现：第一结构和第二结构可以被激励而以基本上平行于第一轴线的运动分量基本上反相地振动。

根据优选的扩展方案设置为，转速传感器如此包括用于使第三驱动结构与第四驱动结构耦合的第二耦合结构，使得第三驱动结构和第四驱动结构可以偏移产生具有基本上平行于第一轴线的运动分量的基本上反相的振动。因此，以有利的方式使得第一结构和第二结构能够被激励而以基本上平行于第一轴线的运动分量基本上反相地振动。