[发明专利]含有固体颗粒的液体材料的吐出装置及吐出方法、以及涂布装置在审
申请号: | 201680043583.3 | 申请日: | 2016-07-21 |
公开(公告)号: | CN107847962A | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 生岛和正 | 申请(专利权)人: | 武藏工业株式会社 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/10;B05D1/26;B05D7/24;H01L33/50 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 固体 颗粒 液体 材料 吐出 装置 方法 以及 | ||
1.一种含有固体颗粒的液体材料的吐出装置,其特征在于,
具备:
贮存容器,其贮存含有固体颗粒的液体材料;
计量部,其具有填充所述液体材料的计量孔;
柱塞,其在所述计量孔内进退移动;
喷嘴,其具有吐出所述液体材料的吐出口;
切换阀,其具有连通所述贮存容器与所述计量部的第一位置及连通所述计量部与所述喷嘴的第二位置;
柱塞驱动装置,其使柱塞进退移动;
切换阀驱动装置,其对切换阀的第一位置及第二位置进行切换;以及
吐出控制装置,其具备处理器及储存有吐出控制程序的储存装置,所述吐出控制程序具备:
填充步骤,其将所述切换阀设为第一位置,通过使所述柱塞后退移动而将所述液体材料填充于所述计量孔内;
排出步骤,其将所述切换阀设为第二位置,通过使所述柱塞前进移动而将所述计量孔内的所述液体材料自所述吐出口吐出;
流入步骤,其将所述切换阀设为第一位置,通过使所述柱塞前进移动而使所述计量孔内的所述液体材料流入所述贮存容器内;
吐出步骤,其连续地执行所述填充步骤及所述排出步骤;以及
搅拌步骤,其连续地执行所述填充步骤及所述流入步骤。
2.如权利要求1所述的含有固体颗粒的液体材料的吐出装置,其特征在于,
所述吐出控制程序具备:连续搅拌步骤,其连续地执行所述搅拌步骤。
3.如权利要求1或2所述的含有固体颗粒的液体材料的吐出装置,其特征在于,
进一步具备:连接构件,其具有连通所述贮存容器与所述计量部的连接流路,
所述连接流路与所述贮存容器的连接部的截面积为所述贮存容器的截面积的1/4以下。
4.如权利要求3所述的含有固体颗粒的液体材料的吐出装置,其特征在于,
所述连接流路与所述贮存容器的连接部的截面积为所述贮存容器的截面积的1/10以下。
5.如权利要求3或4所述的含有固体颗粒的液体材料的吐出装置,其特征在于,
所述连接流路由自一端至另一端实质上相同直径的直线形状的流路构成。
6.一种涂布装置,其特征在于,
具备:
权利要求1~5中任一项所述的含有固体颗粒的液体材料的吐出装置;
工作台,其固定工件;
XYZ驱动机构,其使所述工作台与所述吐出装置相对移动;以及
涂布控制装置,其具备处理器及储存有涂布控制程序的储存装置,
所述涂布控制程序具备:涂布步骤,其根据涂布图案,通过所述XYZ驱动机构使所述工作台与所述吐出装置相对移动,且使所述吐出装置执行所述吐出步骤及所述搅拌步骤。
7.如权利要求6所述的涂布装置,其特征在于,
进一步具备:搬送机构,其将自搬入部承接的工件搬送至所述工作台,并将所述工件自所述工作台搬送至搬出部,
所述涂布控制程序具备:搬送时搅拌步骤,其在通过所述搬送机构搬送所述工件的期间,使所述吐出控制装置执行一次以上的所述搅拌步骤。
8.如权利要求6或7所述的涂布装置,其特征在于,
所述涂布控制装置具备:定时器,其检测自最后的搅拌动作或吐出动作起经过了一定时间,
所述涂布控制程序具备:定时搅拌步骤,其在所述定时器检测到所述一定时间的经过且直至下一吐出步骤的执行为止存在执行所述搅拌步骤的时间的情况下,使所述吐出控制装置执行一次以上的所述搅拌步骤。
9.如权利要求6~8中任一项所述的涂布装置,其特征在于,
所述涂布控制程序具备:周期搅拌步骤,其以一定的周期,检测直至下一吐出步骤的执行为止存在执行所述搅拌步骤的时间的时机,并在该时机使所述吐出控制装置执行一次以上的所述搅拌步骤。
10.一种涂布方法,其特征在于,
是使用权利要求6~9中任一项所述的涂布装置的涂布方法,
所述涂布控制装置通过执行所述涂布控制程序而在工件形成涂布图案。
11.如权利要求10所述的涂布方法,其特征在于,
所述固体颗粒包含比重较所述液体材料大的固体颗粒。
12.如权利要求11所述的涂布方法,其特征在于,
所述固体颗粒是LED用荧光体。
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