[发明专利]软磁性粉末

权利要求书

1.一种软磁性粉末，其含有不具有中空部的粒子作为主成分，在将所述软磁性粉末压粉成型以使体积填充率为75％～77％而得到的成型体的截面中，存在于2.5mm见方的区域的中空粒子的个数为40以下,所述存在于2.5mm见方的区域的中空粒子的个数为7.0以上。

2.根据权利要求1所述的软磁性粉末，其中，所述软磁性粉末包含含有Fe作为主成分的合金组合物，所述合金组合物中的Fe、Co和Ni的含量合计为72at.％～85at.％，并且，所述软磁性粉末含有非晶结构。

3.根据权利要求2所述的软磁性粉末，其中，Co和/或Ni的含量为0at.％。

4.根据权利要求1所述的软磁性粉末，其中，所述软磁性粉末的平均粒径为10μm～70μm。

5.根据权利要求2所述的软磁性粉末，其中，所述软磁性粉末的平均粒径为10μm～70μm。

6.一种软磁性粉末的制造方法，通过气体雾化法将母合金熔液利用喷射气体粉碎而形成软磁性粉末，其中，将重量基准熔液流量除以体积基准喷射气体流量而得的值为3.1g/L以下,

各个熔液喷嘴中，所述熔液流量为10～50g/秒，所述喷射气体流量为10～50L/秒。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，将所述母合金熔液利用喷射气体粉碎后，用冷却水进行骤冷。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，所述母合金含有Fe作为主成分，该母合金中的Fe、Co和Ni的含量的合计为72at.％～85at.％。

9.根据权利要求8所述的方法，其中Co和/或Ni的含量为0at.％。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，所述母合金含有Fe作为主成分，该母合金中的Fe、Co和Ni的含量的合计为72at.％～85at.％。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，Co和/或Ni的含量为0at.％。

12.根据权利要求6～11中任一项所述的方法，其中，所述喷射气体含有非活性气体。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述喷射气体含有Ar和/或N₂。

14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述喷射气体含有以分压换算为0.5％～7％的H₂。

15.根据权利要求13所述的方法，其中，所述喷射气体含有以分压换算为0.5％～7％的H₂。

16.一种线圈部件，具有磁性体部以及埋设于该磁性体部的线圈导体，所述磁性体部含有权利要求1～5中任一项所述的软磁性粉末和树脂，所述磁性体部中的所述软磁性粉末的含量为60vol％以上。

17.一种线圈部件，含有磁芯以及卷绕于该磁芯的线圈导体，所述磁芯含有权利要求1～5中任一项所述的软磁性粉末和树脂，所述磁芯中的所述软磁性粉末的含量为60vol％以上。

18.根据权利要求2所述的软磁性粉末，其中，所述合金组合物中，Fe的含量为70～86at％，Ni的含量为0～6at％，Co的含量为0～6at％，Si的含量为大于0at％且9at％以下，B的含量为大于0at％且10at％以下。

19.根据权利要求2所述的软磁性粉末，其中，所述合金组合物中，Cu的含量为0～0.7at％。