[发明专利]取出装置及保管装置

说明书

取出装置(1)具备：从货物(120)的前方一侧支承货物(120)的前方部分的支承部(13)，经由连结部件(142)连结在使支承部(13)能够沿上下方向移动的移动装置(140)上的连结部(9、11)，以及将连结部(9、11)夹在中间、设置在与支承部(13)相反一侧的把持部(15、17)。

技术领域

本发明涉及取出装置和保管装置。

背景技术

作为收容半导体晶圆的半导体搬送用盒，例如有FOUP(Front-Opening UnifiedPod，前开式标准晶圆盒)。在保管FOUP的保管装置中，用于进行出入库的端口与货架之间的FOUP的移载利用移载装置来进行。在具备移载装置的保管装置中，在因移载装置的动作故障等而不能进行移载的情况下，人工进行FOUP的移载。但是，近年来，由于半导体晶圆大直径化，伴随于此，FOUP也大型化(大重量化)，因此人工处置FOUP困难。

因此，例如专利文献1中记载的保管装置中除了移载装置之外还具备能够手动操作的手动搬送装置。该手动搬送装置具备：能够把持FOUP的凸缘的把持部、连结在把持部上的传送带、卷起传送带的提升部、以及能够在保管装置内的顶棚上滑动地设置的滑动部，在不能使用移载装置的情况下，手动进行FOUP的搬送。

在先技术文献

专利文献

【专利文献1】日本特开2011－1149号公报

发明的概要

发明要解决的问题

所述保管装置的手动搬送装置中，需要将把持部安装到FOUP的凸缘上。但是，将把持部插入FOUP与货架之间狭窄的间隙中进行作业不容易。因此，有关FOUP等半导体搬送盒的手动进行的搬送要求进一步改善操作性。

发明内容

本发明的一个方面以提供实现操作性的提高的取出装置和保管装置为目的。

本发明的一个方面所涉及的取出装置为在具备经由前方开口的开口部进出货物的货架的保管装置中，用来从货架经由开口部取出货物，具备：从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部，经由连结部件连结在能够使支承部在上下方向移动的移动装置上的连结部，以及将连结部夹在中间地设置在与支承部相反一侧的把持部。

本发明的一个方面所涉及的取出装置具备从货物的前方一侧支承货物的前方部分的支承部。因此，即使在货物与货架之间的间隙狭窄的情况下，由于支承货物的前方部分，因此不用在狭窄的间隙中进行作业就能够支承货物。并且，借助经由连结部件连结在连结部上的移动装置，支承部能够在上下方向移动。因此，经由在利用支承部支承着货物的状态下由移动装置使支承部移动到上方，能够将货物从货架抬起。由此，取出装置中能够容易地从货架取出货物，实现了操作性的提高。并且，在从货架取出货物时，支承部处于被移动装置经由连结部吊挂的状态。此时，由于货物的重量，取出装置向货物一侧倾斜。因此，在取出装置中，把持部夹着连结部设置在与支承部相反的一侧。通过该结构，能够利用把持部容易地施加克服支承部因货物的重量而倾斜的力，因此容易保持取出装置的平衡。因此，能够稳定地操作取出装置，所以实现了操作性的提高。

在一个实施方式中，支承部可以具有支承货物的底面的第1支承部和限制支承在该第1支承部上的货物移动的第2支承部。根据该结构，能够利用第1支承部稳定地支承货物。并且，能够利用第2支承部防止货物的位置偏离。因此，能够稳定地取出货物。

在一个实施方式中，也可以第2支承部设置在比第1支承部靠上方，限制货物的上下方向的移动。根据该结构，能够防止利用第1支承部支承着前方部分的底面的货物向后方一侧倾斜。因此，能够稳定地取出货物。

在一个实施方式中，还可以具备设置在把持部一侧、可装卸地支承配重部件的安装部。根据该结构，通过配合货物的重量地将配重部件安装到安装部，能够根据货物的重量调整平衡。由此，能够更稳定地取出货物。