[发明专利]相对于气流的镭射扫描定序及方向

权利要求书

1.一种用于增强由跨于一工件的镭射扫描引起的一镭射诱导材料效应的一边缘特性的方法，所述方法包括：

在一镭射处理系统的一处理站处相对地定向一镭射处理场及所述工件；

自一气体供应在跨于所述工件的一主表面的至少一部分的一气体输入方向上建立一气体输入流，其中所述气体输入流中的气体具有在所述气体输入方向上的一正气体输入速度；

自一真空源在跨于所述工件的所述主表面的所述至少一部分的一气体排出方向上建立一气体排出流，其中所述气体输入流及所述气体排出流跨于所述工件的所述主表面的所述至少一部分建立一主要气流方向；以及

当维持所述气体输入流及所述气体排出流时，在一镭射光束的一镭射光束处理轴相对于所述工件的相对移动的一第一镭射扫描方向上扫描所述镭射光束，其中所述镭射光束沿所述第一镭射扫描方向入射所述工件，其中所述第一镭射扫描方向与所述主要气流方向相对地斜向定向，

其中所述气体供应包含多个空气喷嘴，且所述真空源包含一排气入口部，

其中所述多个空气喷嘴以低于所述排气入口部的方式来定位。

2.如权利要求1的方法，进一步包括：

当维持所述气体输入流及所述气体排出流时，在一个别镭射光束处理轴相对于所述工件的相对移动的一第二镭射扫描方向上扫描镭射光束，其中所述第二镭射扫描方向与所述主要气流方向相对地斜向定向，其中所述第二镭射扫描方向横向于所述第一镭射扫描方向。

3.如权利要求2的方法，其中所述第二镭射扫描方向正交于所述第一镭射扫描方向。

4.如权利要求1的方法，其中所述第一镭射扫描方向相对于所述主要气流方向成一135°±22.5°角度。

5.如权利要求4的方法，其中所述第一镭射扫描方向相对于所述主要气流方向成一135°±11.25°角度。

6.如权利要求5的方法，其中所述第一镭射扫描方向相对于所述主要气流方向成一135°±5.125°角度。

7.如权利要求2的方法，其中所述第二镭射扫描方向相对于所述主要气流方向成一225°±22.5°角度。

8.如权利要求7的方法，其中所述第二镭射扫描方向相对于所述主要气流方向成一225°±11.25°角度。

9.如权利要求8的方法，其中所述第二镭射扫描方向相对于所述主要气流方向成一225°±5.125°角度。

10.如权利要求2的方法，其中所述主要气流方向在沿所述第一镭射扫描方向及所述第二镭射扫描方向的扫描期间保持大体上相同。

11.如权利要求1的方法，其中所述镭射诱导材料效应包括一锯口、标志、贯穿孔通孔、盲通孔、沟槽或削薄。

12.如权利要求1的方法，其中所述镭射诱导材料效应包括镭射烧蚀。

13.如权利要求1的方法，其中所述主要气流方向平行于第一处理站轴或与所述第一处理站轴共线，其中所述工件包括介于所述工件的特征、装置或晶粒之间的一组迹道，且其中该组迹道斜向地对准至所述第一处理站轴。

14.如权利要求1的方法，其中所述气体包括空气。

15.如权利要求1的方法，其中所述镭射光束包括具有大于或等于2μJ的一脉冲能量的镭射脉冲。

16.如权利要求1的方法，其中扫描所述镭射光束包括以小于或等于5μm的一咬合大小将镭射脉冲递送至所述工件。