[发明专利]用于支承半导体器件或其它部件的卷盘至卷盘检查的固定装置

权利要求书

1.一种用于支承部件的卷盘至卷盘检查的设备，所述设备包括：

固定装置，所述固定装置被构造成容纳多个卷盘，所述多个卷盘的每一个被构造成容纳带，待检查部件位于所述带中或者位于所述带上；

其中，所述固定装置包括：

底座，所述底座被构造成固定至支承件；

轴；

一个或者多个马达，所述一个或者多个马达安装至所述轴并且被构造成使所述卷盘旋转；以及

一个或者多个连接部，所述一个或者多个连接部联接所述轴和所述底座，其中，所述一个或者多个连接部被构造成允许：（i）所述轴围绕所述轴的纵向轴线旋转以便改变所述轴相对于所述底座的定向；以及（ii）使所述轴旋转以便改变所述轴延伸远离所述底座的方向，使得所述带能够移动到由辐射源生成的辐射路径中以及能够移动到由辐射源生成的辐射路径外。

2.根据权利要求1所述的设备，其中：

所述底座被构造成固定至不同部件检查系统的不同支承件；以及

所述一个或者多个连接部被构造成允许根据所述不同部件检查系统的构造而将所述轴定位在不同位置中。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述一个或者多个连接部被构造成允许将所述轴水平地定位在第一部件检查系统中并且将所述轴竖直地定位在第二部件检查系统中。

4.根据权利要求1所述的设备，所述设备进一步包括：

控制器，所述控制器被构造成驱动所述一个或者多个马达。

5.根据权利要求4所述的设备，其中：

所述一个或者多个马达包括第一马达和第二马达；以及

所述控制器包括：

第一驱动电路，所述第一驱动电路被构造成控制所述第一马达的操作；以及

第二驱动电路，所述第二驱动电路被构造成控制所述第二马达的操作。

6.根据权利要求5所述的设备，其中：

所述第一驱动电路包括具有第一栅极的第一晶体管；

所述第二驱动电路包括具有第二栅极的第二晶体管；以及

所述控制器进一步包括：

脉冲电路，所述脉冲电路被构造成响应于触发器输入而生成脉冲；以及

开关，所述开关被构造成将所述脉冲选择性地引导至所述第一栅极和第二栅极。

7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述控制器进一步包括被构造成调整所述脉冲的宽度的控件。

8.根据权利要求6所述的设备，其中，所述第一驱动电路和第二驱动电路中的每一个进一步包括：

被构造成使所述带收卷的控件；以及

被构造成调整收卷速度的控件。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述固定装置进一步包括：

至少一个附加马达，所述至少一个附加马达被构造成使所述轴重新定向并且重新定位。

10.根据权利要求1所述的设备，其中，所述底座被构造成可移除地固定至支承件，使得所述底座能够从第一部件检查系统移除并且能够固定到第二部件检查系统，所述第二部件检查系统具有与所述第一部件检查 系统不同的构造。

11.根据权利要求1所述的设备，其中，所述轴从所述一个或多个连接部线性地延伸，使得所述一个或多个马达沿着所述轴定位在所述一个或多个连接部的远侧。