[发明专利]用于支承半导体器件或其它部件的卷盘至卷盘检查的固定装置

说明书

本发明公开了一种系统，该系统包括部件检查系统（200），部件检查系统具有被构造成生成辐射的辐射源（202）；以及被构造成在辐射穿过待检查部件之后检测辐射的辐射检测器（204）。系统还包括构造成容纳多个卷盘（502、504）的固定装置（100），多个卷盘中的每一个被构造成容纳带（506），部件位于带中或者位于带上。固定装置包括被构造成固定至支承件的底座（102）；轴（104）；安装至轴并且被构造成使卷盘旋转的一个或者多个马达（108、110）；以及联接轴和底座的一个或者多个连接部（106）。一个或者多个连接部被构造成允许：（i）轴围绕轴的纵向轴线旋转以改变轴相对于底座的定向；以及（ii）使轴旋转以改变轴延伸远离底座的方向。

技术领域

本公开内容一般地涉及半导体器件或者其它部件的检查。更具体地，本公开内容涉及一种支承半导体器件或者其它部件的卷盘至卷盘检查的固定装置。

背景技术

在世界范围内日益增长的问题涉及伪造的电子部件，诸如，伪造的集成电路芯片或者其它半导体器件。已经开发了各种检查系统来试图解决该问题。例如，一些检查系统X射线电子部件，并且确定所得到的X射线图像指示电子部件是真的或者伪造的。

常规检查系统通常会遇到各种问题。例如，一些常规系统需要操作者手动地将电子部件放置到托盘上，将托盘放置到检查系统中，并且反复执行相同的任务。这些方法通常是成本高昂且耗时的，并且由于需要不断地打开和关闭门、使用伺服马达来定位电子部件、以及对检查系统上电和断电而在检查系统上造成磨损和损伤。而且，这些方法通常会增加操作者无意中损坏电子部件（诸如，经由静电放电）的风险并且为操作者提供在人机工程学上较差的环境。

在卷盘至卷盘（reel to reel）检查系统中，电子部件存储在围绕第一卷盘卷绕的带上或者存储在该带中。该带能够从第一卷盘展开，电子部件能够被检查，并且该带能够围绕第二卷盘卷绕。这能够有助于利用其它类型的检查系统来解决遇到的各种问题。然而，目前尚不存在将卷盘至卷盘检查能力添加至现有非卷盘至卷盘检查系统的简单方法。相反地，通常需要购买全新的检查系统。

发明内容

本公开内容提供了一种支承半导体器件或者其它部件的卷盘至卷盘检查的固定装置。

在第一实施例中，一种设备包括固定装置，该固定装置被构造成容纳多个卷盘，该多个卷盘中的每一个被构造成容纳带，待检查部件位于带中或者位于带上。该固定装置包括被构造成固定至支承件的底座；轴；以及一个或者多个马达，该一个或者多个马达安装至轴并且被构造成使卷盘旋转。该固定装置还包括一个或者多个连接部，该一个或者多个连接部联接轴和底座，其中，该一个或者多个连接部被构造成允许：（i）轴围绕轴的纵向轴线旋转以便改变轴相对于底座的定向；以及（ii）使轴旋转以便改变轴延伸远离底座的方向。

在第二实施例中，一种系统包括部件检查系统，该部件检查系统具有辐射源，该辐射源被构造成生成辐射；以及辐射检测器，该辐射检测器被构造成在辐射穿过待检查部件之后检测辐射。该系统还包括固定装置，该固定装置被构造成容纳多个卷盘，该多个卷盘中的每一个被构造成容纳带，部件位于带中或者位于带上。该固定装置包括被构造成固定至支承件的底座；轴；以及一个或者多个马达，该一个或者多个马达安装至轴并且被构造成使卷盘旋转。该固定装置还包括一个或者多个连接部，该一个或者多个连接部联接轴和底座，其中，该一个或者多个连接部被构造成允许：（i）轴围绕轴的纵向轴线旋转以便改变轴相对于底座的定向；以及（ii）使轴旋转以便改变轴延伸远离底座的方向。

在第三实施例中，一种方法包括：将固定装置的底座固定至支承件。该方法还包括：将固定装置的轴放置到指定位置中，其中，一个或者多个连接部联接轴和底座，并且一个或者多个马达安装至轴。该方法进一步包括：将多个卷盘联接至一个或者多个马达，其中，每个卷盘被构造成容纳带，待检查部件位于带中或者位于带上。另外，该方法包括：控制带从卷盘的卷绕和展开以便允许部件检查系统捕获每个部件的一个或者多个图像。一个或者多个连接部被构造成允许：（i）轴围绕轴的纵向轴线旋转以便改变轴相对于底座的定向；以及（ii）使轴旋转以便改变轴延伸远离底座的方向。