[发明专利]太阳能电池及太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:

第一导电型或是第二导电型的半导体基板；

所述半导体基板上的非晶硅膜；

所述非晶硅膜上的电极，

所述非晶硅膜的所述电极侧的区域以及所述电极含有银、以及银以外的金属。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于，所述银以外的金属,可以从由铝、钛、铜、钯、铬、镓、钕和镍构成的集合中选择至少一种。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池,其特征在于，所述区域的厚度在10nm以下。

4.根据权利要求1至3任一项所述的太阳能电池,其特征在于，所述非晶硅膜的厚度在5nm以上。

5.一种太阳能电池制造方法,其特征在于,包括以下工序:

在第一导电型或是第二导电型的半导体基板上形成非晶硅膜的工序；

在所述非晶硅膜上,形成含有银以及银以外的金属的金属膜的工序；以及,

通过加热所述金属膜形成所述非晶硅膜上的电极的同时,在所述非晶硅膜的所述电极侧，形成包含银及银以外的金属的区域的工序。