[发明专利]电子元器件输送装置及电子元器件检查装置

权利要求书

1.一种电子元器件输送装置，其特征在于，具备：

干燥空气供给部，能够供给干燥空气；

离子产生部，能够对干燥空气进行离子化；

喷射部，能够喷射进行了所述离子化的干燥空气；

电子元器件配置部，能够配置电子元器件，所述电子元器件配置部能够进行冷却；以及

收容部，能够收容所述电子元器件配置部，并且具有能够供所述电子元器件通过的开口，

所述喷射部具有至少一个喷出口，所述喷出口能够向所述收容部的内部喷射进行了所述离子化的干燥空气。

2.根据权利要求1所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述收容部设于所述电子元器件输送装置的外壳之内。

3.根据权利要求1或2所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

来自所述干燥空气供给部的干燥空气和来自所述离子产生部的干燥空气分别低于所述外壳的外侧的湿度。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述收容部的内部的压力高于所述收容部的外侧的压力。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述电子元器件配置部是能够调整所述电子元器件的温度的均温板。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述电子元器件配置部是能够输送所述电子元器件的穿梭板。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述收容部具有多个所述开口，并且具有开闭多个所述开口的快门。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述喷出口的设置高度高于所述电子元器件配置部的上表面。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述离子产生部的设置位置高于所述电子元器件配置部。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

在俯视所述电子元器件配置部时，所述离子产生部的设置数量为在所述电子元器件配置部的周围至少有一个。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述电子元器件配置部具有逐个配置所述电子元器件的凹部，

所述喷出口的设置位置为所述凹部的上方。

12.根据权利要求11所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

所述喷出口的设置位置与各所述凹部对应。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的电子元器件输送装置，其特征在于，

设置多个所述喷出口，

多个所述喷出口在平面方向上配置。

14.一种电子元器件检查装置，其特征在于，具备：

干燥空气供给部，能够供给干燥空气；

离子产生部，能够对干燥空气进行离子化；

喷射部，能够喷射进行了所述离子化的干燥空气；

电子元器件配置部，能够配置电子元器件，所述电子元器件配置部能够进行冷却；

收容部，能够收容所述电子元器件配置部，并且具有能够供所述电子元器件通过的开口；以及

检查部，检查所述电子元器件，

所述喷射部具有至少一个喷出口，所述喷出口能够向所述收容部的内部喷射进行了所述离子化的干燥空气。