[发明专利]多射束暗场成像

权利要求书

1.一种设备，其包括：

电子源；

至少一个光学装置，其经配置以利用由所述电子源提供的电子而产生多个初级子射束，所述至少一个光学装置进一步经配置以朝向目标递送所述多个初级子射束；

分束器，其经配置以分离所述多个初级子射束及由所述目标响应于所述多个初级子射束而发射的多个图像子射束；及

多通道检测器阵列，其经配置以接收所述多个图像子射束，所述多通道检测器阵列进一步经配置以再现暗场图像阵列以形成连续暗场图像，其中所述检测器阵列的每一多通道检测器包括一组检测器元件。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述多个图像子射束中的每一图像子射束是由经指定多通道检测器接收。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述多通道检测器的至少一些包括中心通道及围绕所述中心通道的多个外通道。

4.根据权利要求3所述的设备，其中所述外通道进一步经配置以收集极角及方位角信息以促进所述目标的三维拓扑的再现或促进到所述目标的垂直距离的测量。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述多通道检测器阵列是高密度检测器阵列。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述多个图像子射束中的每一图像子射束是由所述高密度检测器阵列内的一组检测器接收。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述多通道检测器的至少一个子组经分组以形成中心分区，且所述多通道检测器的至少两个子组经分组以形成至少两个外分区。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述中心分区及所述外分区经配置以促进所述目标的明场图像及所述目标的暗场图像的再现。

9.根据权利要求7所述的设备，其中所述外分区进一步经配置以收集极角及方位角信息以促进所述目标的三维拓扑的再现或促进到所述目标的垂直距离的测量。

10.一种设备，其包括：

电子源；

至少一个光学装置，其经配置以利用由所述电子源提供的电子而产生多个初级子射束，所述至少一个光学装置进一步经配置以朝向目标递送所述多个初级子射束；

分束器，其经配置以分离所述多个初级子射束及由所述目标响应于所述多个初级子射束而发射的多个图像子射束；及

多通道检测器阵列，其经配置以接收所述多个图像子射束，所述多通道检测器阵列进一步经配置以形成连续暗场图像，其中所述检测器阵列的每一多通道检测器包括一组检测器元件。

11.根据权利要求10所述的设备，其中所述多个图像子射束中的每一图像子射束是由经指定多通道检测器接收。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述多通道检测器的至少一些包括中心通道及围绕所述中心通道的多个外通道。

13.根据权利要求12所述的设备，其中所述多通道检测器经配置以促进所述目标的明场图像及所述目标的暗场图像的再现。

14.根据权利要求12所述的设备，其中所述多通道检测器经配置以量化所述多通道检测器上的图像射束分布以确定一或多个适用的校正。

15.根据权利要求12所述的设备，其中所述外通道进一步经配置以收集极角及方位角信息以促进所述目标的三维拓扑的再现或促进到所述目标的垂直距离的测量。

16.根据权利要求10所述的设备，其进一步包括：

透镜阵列，其定位于所述多通道检测器阵列前方，所述透镜阵列经配置以促进对可由所述多通道检测器阵列接收的所述多个图像子射束的控制。