[发明专利]处理液供给装置、基板处理系统及处理液供给方法

权利要求书

1.一种处理液供给装置，向使用处理液对基板实施处理的处理单元供给处理液，

所述处理液供给装置包括：

处理液罐，贮存处理液；

第一处理液配管，使所述处理单元和所述处理液罐连接；

开闭单元，用于开闭所述第一处理液配管；

加压单元，为了将所述处理液罐的内部的处理液向所述第一处理液配管的内部送出，利用气体对该处理液进行加压；

压力调整单元，用于调整所述处理液罐的内部的压力；以及

控制装置，为了停止从所述处理液供给装置向所述处理单元供给处理液，在所述开闭单元关闭之前，控制所述压力调整单元，使处于加压状态的所述处理液罐的内部以按照被设定为溶解于所述处理液的气体不会作为气泡出现的规定速度以下的减压速度进行减压的方式逐渐地向大气开放，在向大气开放开始后，关闭所述开闭单元。

2.如权利要求1所述的处理液供给装置，其中，

所述控制装置等待所述处理液罐的内部的压力下降至大气压，在下降至大气压后，关闭所述开闭单元。

3.一种处理液供给装置，向使用处理液对基板实施处理的处理单元供给处理液，

所述处理液供给装置包括：

处理液罐，贮存处理液；

第一处理液配管，使所述处理单元和所述处理液罐连接；

开闭单元，用于开闭所述第一处理液配管；

加压单元，为了将所述处理液罐的内部的处理液向所述第一处理液配管的内部送出，利用气体对该处理液进行加压；

压力调整单元，用于调整所述处理液罐的内部的压力；

压力计，用于测量所述处理液罐的内部的压力；以及

控制装置，为了停止从所述处理液供给装置向所述处理单元供给处理液，在所述开闭单元关闭之前，控制所述压力调整单元，使处于加压状态的所述处理液罐的内部逐渐地向大气开放，在向大气开放开始后，关闭所述开闭单元，

在从所述大气开放开始起经过了规定时间的时刻，所述压力计的检测值在规定的阈值以上的情况下，在所述处理液罐的内部的压力下降至大气压后，所述控制装置关闭所述开闭单元。

4.如权利要求1至3中任一项所述的处理液供给装置，其中，

所述处理液供给装置还包括大气连通配管，该大气连通配管使所述处理液罐的内部与大气连通，

所述压力调整单元包括大气开闭阀，该大气开闭阀用于开闭所述大气连通配管。

5.如权利要求4所述的处理液供给装置，其中，

在所述大气连通配管上设置有节流孔。

6.如权利要求1至3中任一项所述的处理液供给装置，其中，

所述处理液供给装置还包括大气连通配管，该大气连通配管使所述处理液罐的内部与大气连通，

所述压力调整单元包括调整所述大气连通配管的开度的开度调整单元。

7.如权利要求1至3中任一项所述的处理液供给装置，其中，

所述处理液罐设置有多个，

所述第一处理液配管包括与各处理液罐连接的个别配管以及使多个所述个别配管中的每一个个别配管与所述处理单元连接的共通配管，

所述开闭单元包括开闭各个别配管的个别开闭阀以及开闭所述共通配管的共通开闭阀。

8.如权利要求1至3中任一项所述的处理液供给装置，其中，

贮存于所述处理液罐的处理液包括有机溶剂。