[发明专利]微针

权利要求书

1.一种微针，所述微针的特征在于，

具有基台与板状的刀片，板状的刀片与基台形成为一体，板状的刀片从基台的端部延伸。

2. 一种微针的制造方法，所述微针的制造方法的特征在于，具有如下工序：

向模具填充微针制造用的液状材料的工序，所述模具具有与微针的基台为互补形状的空间、以及与板状的刀片为互补形状的空间，与板状的刀片为互补形状的空间连通于模具的外部空间；以及

将互补形状的空间所连通的空间减压的工序。

3.一种使用于微针的制造的模具，所述使用于微针的制造的模具的特征在于，

具有与微针的基台为互补形状的空间、以及与板状的刀片为互补形状的空间，

与板状的刀片为互补形状的空间连通于外部空间。

4. 一种模具的制造方法，该模具使用于微针的制造，所述模具的制造方法的特征在于，具有如下工序：

加工出与微针的基台为互补的区域的工序；以及

从模具的下方照射激光束而贯通到与微针的基台为互补的区域，在水平方向上将该激光束移动刀片的宽度尺寸，从而加工出与板状的刀片为互补形状的空间的工序。

5.一种模具的制造方法，该模具使用于微针的制造，所述模具的制造方法的特征在于，具有如下工序：

使用具有工件主体部以及光致抗蚀剂部的工件，所述工件主体部由透过性的材料构成，所述光致抗蚀剂部由光致抗蚀剂构成，

将与微针的刀片的前端面为相同尺寸的遮光部件载置于光致抗蚀剂部上，从载置了遮光部件的一侧向光致抗蚀剂部照射光的工序；

将上述遮光部件正下方的光致抗蚀剂去除，形成与刀片为互补形状的空间的工序；以及

从工件主体的光致抗蚀剂部侧照射光，并且从与光的照射侧相反的一侧进行加工，从而形成与基台为互补形状的空间的工序。

6.一种微针，所述微针的特征在于，

具有基台与圆锥形前端部分，基台与圆锥形前端部分之间的区域形成有截面多角星形部分，基台、圆锥形前端部分以及截面多角星形部分形成为一体。