[发明专利]霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块有效
申请号: | 201680055543.0 | 申请日: | 2016-09-21 |
公开(公告)号: | CN108028314B | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 古屋贵明;赤木刚 | 申请(专利权)人: | 旭化成微电子株式会社 |
主分类号: | H01L43/06 | 分类号: | H01L43/06;G01R33/07;G02B7/04;G02B7/08;G03B5/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 霍尔 元件 传感器 镜头 模块 | ||
1.一种霍尔元件,具备:
基板;
感磁部,其形成于所述基板的一面侧;
第一电极和第二电极,该第一电极和该第二电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接,该第一电极与该第二电极在第一方向上彼此相向;以及
第三电极和第四电极,该第三电极和该第四电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接,该第三电极与该第四电极在俯视时与所述第一方向交叉的第二方向上彼此相向,
其中,所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极分别从所述感磁部的周边区域延伸到所述感磁部的中央区域,
在俯视时,所述第一电极至所述第四电极的在中央区域上的总面积相对于所述感磁部的中央区域的面积的比例为40%以上且95%以下。
2.根据权利要求1所述的霍尔元件,其特征在于,
所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极的俯视时的形状分别为矩形,
所述第一电极所具有的第一角部、所述第二电极所具有的第二角部、所述第三电极所具有的第三角部以及所述第四电极所具有的第四角部分别位于所述感磁部的上方,
所述第一角部与所述第二角部在所述第一方向上彼此相向,所述第三角部与所述第四角部在所述第二方向上彼此相向。
3.根据权利要求2所述的霍尔元件,其特征在于,
在俯视时,被所述第一角部、所述第二角部、所述第三角部以及所述第四角部包围的区域的中心部与所述感磁部的中心部重叠。
4.根据权利要求2所述的霍尔元件,其特征在于,
所述基板的俯视时的形状为矩形,
所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极分别配置于所述基板的矩形的四角,
所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极各自的外周的各边分别与所述基板的外周的四边中的两个边平行。
5.根据权利要求1所述的霍尔元件,其特征在于,
在俯视时,所述第一电极至所述第四电极中的邻接的电极之间的最小距离为2μm以上且11μm以下。
6.根据权利要求1所述的霍尔元件,其特征在于,
还具备绝缘膜,在以截面观察时,该绝缘膜配置于所述感磁部与所述第一电极至所述第四电极之间,
所述绝缘膜在与所述感磁部的矩形的四角重叠的位置分别具有开口部,
所述感磁部与所述第一电极至所述第四电极在所述开口部接触。
7.一种霍尔传感器,具备:
根据权利要求1至权利要求6中的任一项所述的霍尔元件;
第一端子部;
第二端子部;
第三端子部;
第四端子部;
第一金属细线,其将所述第一电极与所述第一端子部连接;
第二金属细线,其将所述第二电极与所述第二端子部连接;
第三金属细线,其将所述第三电极与所述第三端子部连接;以及
第四金属细线,其将所述第四电极与所述第四端子部连接,
其中,所述第一电极至所述第四电极各自具有分别接合所述第一金属细线至所述第四金属细线的区域,以及所述第一电极至所述第四电极与所述感磁部接触的区域,
所述第一电极至所述第四电极与所述感磁部接触的区域在从所述感磁部的中心观察时位于比接合所述第一金属细线至所述第四金属细线的接合区域的中心靠外侧的位置。
8.根据权利要求7所述的霍尔传感器,其特征在于,
还具备绝缘膜,在以截面观察时,该绝缘膜配置于所述感磁部与所述第一电极至所述第四电极之间,
在以截面观察时,所述绝缘膜在接合所述第一金属细线至所述第四金属细线的区域介于所述第一电极至所述第四电极与所述感磁部之间,所述绝缘膜在所述第一电极至所述第四电极与所述感磁部接触的区域具有开口部。
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