[发明专利]霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块有效
申请号: | 201680055543.0 | 申请日: | 2016-09-21 |
公开(公告)号: | CN108028314B | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 古屋贵明;赤木刚 | 申请(专利权)人: | 旭化成微电子株式会社 |
主分类号: | H01L43/06 | 分类号: | H01L43/06;G01R33/07;G02B7/04;G02B7/08;G03B5/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 霍尔 元件 传感器 镜头 模块 | ||
提供一种能够抑制霍尔元件的偏移电压的变动的霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块。具备:基板(10);感磁部(20),其形成于基板(10)的上表面(10a)侧;第一电极(31)和第二电极(32),该第一电极(31)和该第二电极(32)形成于上表面(10a)侧并与感磁部(20)电连接,该第一电极(31)和该第二电极(32)在第一方向上彼此相向;以及第三电极(33)和第四电极(34),该第三电极(33)和该第四电极(34)形成于上表面(10a)侧并与感磁部(20)电连接,该第三电极(33)和该第四电极(34)在俯视时与第一方向交叉的第二方向上彼此相向。第一电极(31)、第二电极(32)、第三电极(33)以及第四电极(34)分别从感磁部(20)的周边区域向感磁部(20)的中央区域延伸。
技术领域
本发明涉及一种霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块。
背景技术
以往以来,磁传感器应用于电流检测装置、位置检测装置等大量磁传感器产品。作为磁传感器的代表例,有利用霍尔效应的霍尔元件。
一般来说,霍尔元件具有感磁部、用于使电流流过感磁部的电流电极对、用于检测霍尔电动势的输出电极对,而且,根据由输出电极对检测出的霍尔电动势来检测施加到感磁部的磁的大小和朝向。
在专利文献1中公开了一种如下的霍尔元件:具备半绝缘性GaAs基板、N型动作层、N+接触层、欧姆接合用金属膜、接合用金属膜以及绝缘膜。
在专利文献2中公开了一种如下的霍尔元件:将十字型的霍尔元件的四个位置的内角部分不是设为直角,而是设为倾斜地实施了取角的形状。
在专利文献3中公开了一种如下的霍尔传感器:具备小片、配置于小片的周围的多个引线端子、将小片所具有的多个电极部与各引线端子分别电连接的多个金属细线、将小片的背面覆盖的绝缘膏、以及将小片和多个金属细线覆盖的模制树脂,其中,绝缘膏的至少一部分和各引线端子的背面的至少一部分分别从模制树脂露出。
在专利文献4中公开了一种如下的霍尔传感器:该霍尔传感器使用在基板上形成有十字形的感磁部且在该十字形的臂分别形成有电极的霍尔芯片,使相邻的电极间的对置部平行,将这些对置部的平行的长度设定为从40μm减去对置部间的距离所得到的值以上的尺寸。
专利文献1:日本特开昭60-175471号公报
专利文献2:日本特开平1-298354号公报
专利文献3:国际公开第2014/091714号小册子
专利文献4:日本特开2000-294853号公报
发明内容
在以往的技术中,存在霍尔元件的偏移电压发生变动的情况。
本发明的目的在于,提供一种能够抑制偏移电压的变动的霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块。
为了解决上述问题,本发明的一个方式所涉及的霍尔元件的特征在于,具备:基板;感磁部,其形成于所述基板的一面侧;第一电极和第二电极,该第一电极和该第二电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接,该第一电极与该第二电极在第一方向上彼此相向;以及第三电极和第四电极,该第三电极和该第四电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接,该第三电极与该第四电极在俯视时与所述第一方向交叉的第二方向上相互相向,其中,所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极分别从所述感磁部的周边区域延伸到所述感磁部的中央区域。
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