[发明专利]机械手组件、基板处理装置和用于在电子设备制造中传送基板的方法

权利要求书

1.一种机械手组件，包括：

轨道；

载具，所述载具可沿着所述轨道移动；

机械手，所述机械手安装至所述载具，所述机械手包含至少第一臂、第一从动构件、第二臂和第二从动构件，所述第一从动构件耦接至所述第一臂，所述第二从动构件耦接至所述第二臂；和

驱动组件，包含：

第一驱动构件，

第一传输构件，所述第一传输构件耦接至所述第一驱动构件和所述第一从动构件，所述第一传输构件沿着所述轨道的长度延伸，

第一驱动电动机，所述第一驱动电动机耦接至所述第一驱动构件，所述第一驱动电动机经配置以经由所述第一传输构件而移动所述第一驱动构件，造成所述第一从动构件的旋转和所述第一臂的旋转；

第二驱动构件，和

第二传输构件，所述第二传输构件耦接于所述第二驱动构件和所述第二从动构件之间，所述第二传输构件沿着所述轨道的长度延伸。

2.如权利要求1所述的机械手组件，包括：

第三驱动构件；

第三传输构件，所述第三传输构件耦接至所述第三驱动构件，所述第三传输构件耦接至所述载具并且沿着所述轨道的长度延伸；和

第三驱动电动机，所述第三驱动电动机耦接至所述第三驱动构件，并且经配置以经由所述第三传输构件而在造成所述第三驱动构件的旋转之后，沿着所述轨道移动所述载具。

3.如权利要求1所述的机械手组件，包括第三臂、耦接至所述第三臂的终端受动器，其中所述终端受动器经配置以载送基板。

4.如权利要求1所述的机械手组件，包括第一惰轮构件和第二惰轮构件，所述第一惰轮构件耦接至所述第一传输构件，所述第二惰轮构件耦接至所述第二传输构件。

5.如权利要求4所述的机械手组件，包括：

第三驱动构件；

第三传输构件，所述第三传输构件耦接至所述第三驱动构件，所述第三传输构件耦接至所述载具并且沿着所述轨道的所述长度延伸；和

第三惰轮构件，所述第三惰轮构件耦接至所述第三传输构件。

6.如权利要求1所述的机械手组件，包括：

基底、耦接至所述基底的第一端的所述驱动组件和耦接至所述基底的第二端的至少两个惰轮构件。

7.如权利要求1所述的机械手组件，包括第一惰轮组件，包含：

第一惰轮构件，所述第一惰轮构件可旋转地安装至第一惰轮外壳并且与所述第一传输构件接触，所述第一惰轮外壳在第一纵向位置处能紧固至基底。

8.如权利要求7所述的机械手组件，包括：

第三驱动构件；

第三传输构件，所述第三传输构件耦接至所述第三驱动构件，所述第三传输构件耦接至所述载具并且沿着所述轨道的长度延伸；和

第三惰轮组件，所述第三惰轮组件包含：

第三惰轮构件，所述第三惰轮构件可旋转地安装至第三惰轮外壳并且与所述第三传输构件接触，所述第三惰轮外壳在与所述第一纵向位置间隔的第三纵向位置处能紧固至所述基底。

9.如权利要求8所述的机械手组件，包括第二惰轮组件，所述第二惰轮组件包含：

第二惰轮构件，所述第二惰轮构件可旋转地安装至第二惰轮外壳并且与所述第二传输构件接触，所述第二惰轮外壳在位于所述第一纵向位置与所述第三纵向位置之间间隔的第二纵向位置处能紧固至所述基底。

10.如权利要求1所述的机械手组件，包括惰轮组件，所述惰轮组件包含纵向位置调整能力。

11.如权利要求2所述的机械手组件，包括第一惰轮组件、第二惰轮组件和第三惰轮组件，经配置以调整所述第一传输构件、所述第二传输构件和所述第三传输构件的张力。