[发明专利]具有微细图案的树脂薄膜的制造方法以及有机EL显示装置的制造方法与微细图案形成用基材薄膜和具有支撑部件的树脂薄膜

说明书

提供使用树脂材料并且正确形成如蒸镀掩模或光学元件的微细图案加工的树脂薄膜的制造方法，以及有机EL显示装置的制造方法，以及用于形成微细图案的基材薄膜与具有支撑部件的树脂薄膜。通过将液状的树脂材料涂敷至支撑部件来形成树脂涂敷膜(S1)，使该树脂涂敷膜的温度提升至该树脂材料的硬化温度来形成树脂烘烤膜(S2)。然后，通过照射激光至树脂烘烤膜附着于支撑部件而成的基材薄膜来加工，以形成具有期望的微细图案且具有支撑部件的树脂薄膜(1b)(S3)。之后，通过从支撑部件剥离形成微细图案的树脂烘烤膜，得到具有微细图案的树脂薄膜(S5)。

技术领域

本发明涉及在树脂制的薄膜上通过激光来加工形成微细图案的具有微细图案的树脂薄膜的制造方法以及有机EL显示装置的制造方法与该微细图案形成用的基材薄膜与具有支撑部件的树脂薄膜。更具体地说，涉及用激光加工时不会产生毛刺等形成精密的微细图案而得的树脂薄膜的制造方法以及有机EL显示装置的制造方法与微细图案形成用基材薄膜与具有支撑部件的树脂薄膜。

背景技术

在制造有机EL显示装置的情况下，例如在形成TFT的基板上对应每个像素层叠有机层。因此，在基板上配置蒸镀掩模，经由该蒸镀掩模蒸镀有机材料，并仅在必要的像素上层叠必要的有机层。作为该蒸镀掩模，虽然以往使用金属掩模，但近年有倾向多用树脂薄膜来取代金属屏蔽(例如，参照专利文献1)。

由这种树脂薄膜构成的蒸镀掩模的形成方法，例如如第16图所示，树脂制薄膜81贴附于支撑部件82上。之后，例如如第17图所示，通过从其表面侧透过具有期望的图案83a的掩模83、以及根据需要的光学透镜88照射激光，以形成具有转移掩模83的开口图案83a的期望的微细图案85的树脂薄膜80。

此外，表面有格子状的沟槽的衍射光栅或表面有微细凹凸的光反射防止膜等表面有微细图案的光学元件，也同样地通过照射激光至贴附于支撑部件82上的树脂制薄膜81以形成微细图案而制造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2013-124372号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

如上所述，在形成开口图案的树脂薄膜作为蒸镀掩模以制造有机EL显示装置的情况下，会存在像素面积根据像素增大或缩小、或者层叠的有机层的厚度产生差异的情况。这样，当有机层的层叠状态根据像素而产生差异时，会存在显示装置的显示质量下降的问题。

此外，虽然即使在制造所述光学元件时，此种光学元件也需要与光的波长相当的nm(nanometer)等级的非常微细的图案，但视情况而定，会存在此微细图案变得不均匀、无法得到期望的光学特性的情况。

本发明的发明人进行了重复深入的研究并调查此问题的原因，结果发现，当树脂制薄膜和支撑部件没有精确地密合时，则在树脂制薄膜形成开口或凹凸的微细加工时，开口的周围或凹凸的边界部分会产生毛刺，或由于薄膜的剥离形成浮起，从而造成有机材料的沈积变得不均匀或微细图案变得不均匀。

本发明是为解决这样的问题而完成的，其目的在于，提供作为制造有机EL显示装置时所使用的蒸镀掩模的具有开口图案的树脂薄膜、或者具有比蒸镀掩模更微细的图案的衍射光栅或反射防止膜等具有微细图案的树脂薄膜的制造方法。

本发明的另一个目的是提供使用由具有该细微图案的树脂薄膜形成的蒸镀掩模的有机EL显示装置的制造方法。

本发明的再一个目的是提供使用树脂材料并且能正确形成如蒸镀掩模或光学元件的微细图案加工的基材薄膜。

本发明的再一个目的是提供在基材薄膜形成微细图案的具有支撑部件的树脂薄膜。

解决问题的手段