[发明专利]曝光装置、平面显示器的制造方法及元件制造方法

说明书

使基板(P)移动的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，以非接触方式支承基板(P)；第1驱动系，使非接触保持具(32)移动；标尺板(82)，作为非接触保持具(32)的移动的基准；第1测量部，测量Y读头(78y)的位置信息，具有标尺板(46)与Y读头(78y)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的一者设于非接触保持具(32)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者设于标尺板(82)与非接触保持具(32)之间；第2测量部，测量标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者的位置信息；及位置测量系，根据由第1及第2测量部测量的位置信息，求出非接触保持具(32)的位置信息。

技术领域

本发明关于移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及元件制造方法、以及物体的移动方法，更详言之，关于使物体移动的移动体装置及移动方法、包含移动体装置的曝光装置、使用曝光装置的平面显示器、或元件的制造方法。

背景技术

以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等的电子元件(微型元件)的微影工序中，使用步进扫描方式的曝光装置(所谓扫描步进机(也称为扫描机))等，其一边使光罩(photomask)或标线片(以下总称为“光罩”)与玻璃板或晶圆(以下总称为“基板”)沿着既定扫描方向同步移动，一边使用能量光束将形成在光罩的图案转印至基板上。

作为此种曝光装置，已知有使用基板载台装置所具有的棒反射镜(长条的镜)求出曝光对象基板在水平面内的位置信息的光干涉仪系统的装置(参照例如专利文献1)。

此处，在使用光干涉仪系统求出基板的位置信息的情况下，无法忽视所谓空气波动的影响。

先行技术文献

专利文献1：美国专利申请公开第2010/0266961号说明书

发明内容

根据本发明的第1方式，提供一种移动体装置，其具备：支承部，其以非接触方式支承物体；保持部，其保持被前述支承部以非接触方式支承的前述物体；第1驱动部，其使前述保持部向彼此交叉的第1及第2方向移动；基准构件，其作为前述保持部向前述第1及第2方向的移动的基准；第1测量部，其具有：具有前述第1方向的测量成分的第1格子部、以及配置成与前述第1格子部对置且对前述第1格子部照射测量光束的第1读头，前述第1格子部与前述第1读头中的一方设于前述保持部，前述第1格子部与前述第1读头中的另一方设于前述基准构件与前述保持部之间，藉由前述第1读头及前述第1格子构件测量前述第1读头的位置信息；第2测量部，其测量前述第1格子部与前述第1读头中的另一方的位置信息；以及位置测量系，其根据由前述第1及第2测量部测量的位置信息，求出在前述第1及第2方向中保持前述物体的前述保持部的位置信息。

根据本发明的第2方式，提供一种曝光装置，其具备：第1方式的移动体装置；以及使用能量束在前述物体形成既定图案的图案形成装置。

根据本发明的第3方式，提供一种平面显示器制造方法，其包含：使用第2方式的曝光装置使前述物体曝光的动作；以及使曝光后的前述物体显影的动作。

根据本发明的第4方式，提供一种元件制造方法，其包含：使用第2方式的曝光装置使前述物体曝光的动作；以及使曝光后的前述物体显影的动作。