[发明专利]分辨至少两个光谱范围的高分辨率扫描显微术

权利要求书

1.一种样品的高分辨率扫描显微术的方法，其中：

所述样品由照明辐射激发以发射荧光辐射，其中将所述照明辐射聚焦到所述样品中或所述样品上的点以形成衍射受限照明斑；

以衍射受限方式将所述点成像到空间分辨检测器装置的检测区域上的衍射图像；其中

所述检测区域具有限定所述检测器装置的空间分辨率的空间通道，所述分辨率分辨所述衍射图像的衍射结构，

所述检测器装置包括检测所述衍射图像的辐射的检测器元件，

对于多个所述空间通道中的每一个，将引导到所述空间通道的辐射在光谱上分到多个光谱通道中，

因此获得的通道合并以形成混合通道，所述混合通道接收源自不同空间通道的辐射和来自各种光谱通道的辐射，并且

将每个混合通道引导到所述检测器元件中的一个；

相对于所述样品，以小于所述照明斑的一半直径的增量将所述点位移到不同扫描位置中；

针对每个扫描位置，从所述检测器元件读取强度数据，并且从所述强度数据和分配到所述强度数据的扫描位置产生所述样品的图像，所述图像具有增加而超过用于成像所述点的分辨率极限的分辨率，其中对于每个检测器元件考虑辐射的空间通道和光谱通道，并且所述样品的多光谱图像产生。

2.根据权利要求l所述的方法，其中使用k个空间通道、n个光谱通道和j个检测器元件，并且其中j＜k*n适用，优选地j＝k。

3.根据权利要求1所述的方法，其中混合通道的数量等于空间通道的数量。

4.根据权利要求l所述的方法，其中：

-检测器区域由包括入口分面的光纤的束的入口区域形成，其中所述空间通道在所述入口区域中于所述光纤的入口分面处开始；

-光谱分束和混合装置包括单独分束元件，其中单独分束元件的数量对应于分离的空间通道的数量；以及

-每个光纤将辐射引导到所述单独分束元件中的一个并且所述单独分束元件将辐射分到所述光谱通道中。

5.根据权利要求l所述的方法，其中设置至少一个额外的空间通道，该额外的通道的辐射被引导至所述检测器元件中的一个，而没有光谱地分开。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，出于快速地记录所述荧光辐射的光谱的目的，读取一个扫描位置的强度数据，并且通过考虑分配到每个检测器元件的光谱通道从所述强度数据产生所述扫描位置处的所述样品的光谱。

7.根据权利要求1所述的方法，其中通过以下产生所述样品的多光谱图像：

建立每个扫描位置的方程组，所述方程组包含每个检测器元件的一个方程，其中所述空间通道和分配到每个检测器元件的光谱通道被包含在每个方程中；以及

关于所述样品的强度和光谱数据求解所述方程组。