[发明专利]惯性力传感器在审
| 申请号： | 201680057926.1 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108450008A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 出川宗里;菊地广 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B3/00;G01C19/5747;G01C19/5783;G01D21/02;G01L9/00;G01P15/125;G01P15/18;H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 惯性力传感器 层叠结构体 检测 | ||
1.一种惯性力传感器，其特征在于，
具有形成有检测部的层，
所述层是2个以上层叠在一起的层叠结构体。
2.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其特征在于，
所述检测部具备可动体和电极。
3.根据权利要求2所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少1组检测部的可动体和电极形成于同一层。
4.根据权利要求2所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少1组检测部的可动体和电极分别形成于不同层。
5.根据权利要求4所述的惯性力传感器，其特征在于，
在可动体和电极分别形成于不同层的检测部中，
所述电极形成于与形成有其他检测部的可动体的层相同的层。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少1组检测部有2个以上，且呈阵列状配置。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
传感器的信号仅导出至所述层叠结构体的一面。
8.根据权利要求7所述的惯性力传感器，其特征在于，
所述检测部的信号贯通所述层叠结构体。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一个层具有微机电系统的结构。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一个检测部具有检测压力的部分。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一个层是形成有LSI元件的层。
12.根据权利要求1至10中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一个层是形成有半导体存储器的层。
13.根据权利要求1至10中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一个层是形成有将数字信号转换为模拟信号的电路的层。
14.根据权利要求1至10中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一个层是形成有将模拟信号转换为数字信号的电路的层。
15.根据权利要求1至10中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一个层是形成有LSI元件的层，
至少一个层是形成有半导体存储器的层。
16.根据权利要求1至15中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一组检测部相对于所述层叠结构体外部而言是气密的。
17.根据权利要求1至16中任一项所述的惯性力传感器，其特征在于，
至少一组检测部检测加速度或角速度，
至少一组检测部检测加速度或角速度。
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