[发明专利]玻璃基板、层叠基板和层叠体在审
申请号: | 201680058008.0 | 申请日: | 2016-09-28 |
公开(公告)号: | CN108137379A | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 塙优;小野和孝;泽村茂辉 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | C03C3/085 | 分类号: | C03C3/085;C03C3/087;C03C3/091;C03C17/06;C03C27/04;H01L21/683;H01L23/15 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 摩尔百分比 氧化物基准 玻璃基板 平均热膨胀系数 碱金属氧化物 层叠基板 层叠体 | ||
1.一种玻璃基板,作为基本组成,以氧化物基准的摩尔百分比表示,含有以下成分:
SiO2:58~75%,
Al2O3:4.5~16%,
B2O3:0~6%,
MgO:0~6%,
CaO:0~6%,
SrO:5~20%,
BaO:5~20%,
MgO+CaO+SrO+BaO:15~40%,
碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分比表示为0~0.1%,50℃~350℃的平均热膨胀系数α为56×10-7/℃~90×10-7/℃。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板,其中,利用下述式(1)求得的值为56~90,下述式(1)表示以氧化物基准的摩尔百分比表示的各氧化物的含量的比例关系,
0.174×(SiO2的含量)-0.012×(Al2O3的含量)+0.317×(B2O3的含量)+0.988×(MgO的含量)+1.715×(CaO的含量)+2.011×(SrO的含量)+2.251×(BaO的含量)+0.076 (1)。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板,其中,以氧化物基准的摩尔百分比表示,SiO2和Al2O3的合计含量为65%以上。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的玻璃基板,其中,在温度90℃、浓度0.1当量的HCl溶液中浸渍20小时后的每单位面积的重量减少量为0.3mg/cm2以下。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的玻璃基板,其中,在温度25℃、浓度5%的HF溶液中浸渍20分钟后的每单位面积的重量减少量为13mg/cm2以下。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的玻璃基板,其中,在温度90℃、浓度0.1当量的HCl溶液中浸渍20小时后的在厚度1mm时的雾度率为50%以下。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的玻璃基板,其中,在温度25℃、浓度5%的HF溶液中浸渍20分钟后的雾度率为50%以下。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的玻璃基板,其中,失透温度为1250℃以下。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的玻璃基板,其中,以氧化物基准的质量百万分比表示,Fe2O3的含量为200ppm以下。
10.根据权利要求1~9中任一项所述的玻璃基板,其中,杨氏模量为65GPa以上。
11.根据权利要求1~10中任一项所述的玻璃基板,其中,厚度为2.0mm以下。
12.根据权利要求1~11中任一项所述的玻璃基板,其中,面积为70~2500cm2。
13.根据权利要求1~12中任一项所述的玻璃基板,其中,所述玻璃基板的形状为圆形。
14.根据权利要求1~13中任一项所述的玻璃基板,其中,所述玻璃基板的β-OH为0.05~0.65mm-1。
15.根据权利要求1~14中任一项所述的玻璃基板,其中,在所述玻璃基板的至少一个主表面具有遮光膜。
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