[发明专利]用于嵌段共聚物自组装的组合物和方法

权利要求书

1.组合物，其包含至少一种具有至少一个结构(1)的单元、至少一个结构(2)的单元、至少一个结构(3)的单元，一个端基和一个具有结构(1’)的端基的无规共聚物；

其中R₁选自C₁-C₈烷基、C₁-C₈氟烷基、C₁-C₈部分氟代的烷基部分、C₄-C₈环烷基、C₄-C₈环氟烷基、C₄-C₈部分氟代的环烷基和C₂-C₈羟基烷基；R₂、R₃和R₅独立地选自H、C₁-C₄烷基、CF₃和F；R₄选自H、C₁-C₈烷基、C₁-C₈部分氟代的烷基部分和C₁-C₈氟烷基；n的范围为1至5；R₆选自H、F、C₁-C₈烷基和C₁-C₈氟烷基；m的范围为1至3；n'的范围为1至5；n”的范围为1至5；n”'的范围为1至5；R₇为C₁至C₈烷基；X是-CN或烷氧基羰基部分R₈-O-(C＝O)-，其中R₈是C₁-C₈烷基；并且表示端基与无规共聚物的连接点，其中所述组合物还包含溶剂。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中所述共聚物能够形成这样的层，其是接枝、交联和相对于嵌段共聚物中性的层。

3.根据权利要求1所述的组合物，其中所述共聚物能够形成这样的层，其是不溶于用于光致抗蚀剂的有机溶剂中的接枝、交联和中性的层。

4.根据权利要求1所述的组合物，其中所述共聚物能够形成这样的层，其是不溶于水性碱性显影剂的接枝、交联和中性的层。

5.根据权利要求1所述的组合物，其中R₁选自C₁-C₈烷基；R₂，R₃和R₅独立地选自H和C₁-C₄烷基；R₄选自H，C₁-C₈烷基且n＝1；且R₆选自H，C₁-C₈烷基并且m＝1。

6.根据权利要求1所述的组合物，其中结构(3)的单元在10摩尔％至45摩尔％的范围内。

7.根据权利要求2所述的组合物，其中嵌段共聚物为聚(苯乙烯-b-甲基丙烯酸甲酯)。

8.根据权利要求1所述的组合物，其还包含生酸剂。

9.根据权利要求1所述的组合物，其还包含热生酸剂。