[发明专利]加热器单元

权利要求书

1.一种加热器单元，其特征在于，具有：

第一加热器部；

第二加热器部，相对于所述第一加热器部独立地受控制；

基材，在和所述第一加热器部与所述第二加热器部之间相对应的区域设置有槽；以及

盖部，配置于所述槽的开口端，并与所述槽一起提供封闭空间，

所述盖部设于所述第一加热器部与所述槽之间、以及所述第二加热器部与所述槽之间。

2.根据权利要求1所述的加热器单元，其特征在于，

所述封闭空间为真空。

3.根据权利要求1所述的加热器单元，其特征在于，

所述封闭空间填充有气体。

4.根据权利要求1所述的加热器单元，其特征在于，

所述封闭空间填充有导热率比所述基材低的物质。

5.根据权利要求1所述的加热器单元，其特征在于，还具有：

绝缘层，覆盖所述第一加热器部和所述第二加热器部；和

静电吸盘，隔着所述绝缘层安装于所述基材。

6.根据权利要求5所述的加热器单元，其特征在于，

在所述第一加热器部与所述第二加热器部之间设置有去除了所述绝缘层的区域。

7.根据权利要求1所述的加热器单元，其特征在于，

所述槽被设置成在俯视观察所述基材时呈环状，

所述盖部为环形。