[发明专利]用于电子元件的元件操控装置的自主调整的设备和方法

说明书

元件操控装置用于从结构元件供应库中移出元件并将移出的元件存储在接收装置中。所述接收装置在更换装置部件之后或者在维护工作之后最初投入运行时必须分别重新调整，以满足操控元件是的精度要求。元件操控装置为此具有自主调整装置，其允许在时间和高精度方面有效地调整装置而不需操作员的人工干预。自主调整整装置由多个光学传感器和控制器组成。通过使用原始安装的位置传感器和属性传感器的光学传感器获得的测量结果适用于在制造期间用来进行部件检查，使得过程可靠性提高并且同时允许检查装置部件的损坏。

技术领域

本发明涉及一种用于电子元件的元件操控装置的自主调整的设备和方法。

背景技术

该装置和方法与元件操控装置、接收装置和成像传感器一同描述。

本文中的元件，如(电子)半导体元件，也称为“芯片”或“晶粒”。这样的元件通常为棱柱形，具有大致为例如四边形(矩形或正方形)的多边形横截面，并且具有多个侧面以及一个顶面和一个底面。各侧面和两个端面(底面和顶面)在下文中又被称为边面。元件也可以具有数量不同于四的侧面数量。元件也可以是光学元件(棱镜、反射镜、透镜等)。总的来说，元件可以具有任何几何形状。

从本申请人的实际操作经验中，所谓的拾取和放置装置是已知的，在所述装置中，元件由抽吸装置或夹固装置从元件台上被拾取并随后被放置于载体或传送容器等中。在放置元件前，通常会对元件进行检查。处于该目的，通过一个或多个照相机来记录元件的一个或多个边面的图像并通过自图像处理技术对所述图像进行分析。

现有技术

为了满足半导体制造业对于精度上的要求，在初始操作之前和在更换设备元件或对设备的维修工作之后，需要对用于拾取和放置元件的设备进行调整。

为此，必须对用于拾取和放置元件的设备进行测量并调整，以抵消制造和安装过程中的误差。这是由操作员来执行的，其首先通过显微镜或照相机图像的帮助来对拾取和放置装置进行可视化，随后再对所述装置进行测量和调整。这一方法是非常耗时的，执行时容易出错，且需要高素质人才。装置的复杂度越高，尤其是拥有越多需要彼此调整的单独装置元件，则所需调整时间越长，调整的错误率/不精确率越高。

发明内容

待解决的问题

提出一种能够快速进行精确调整的元件操控装置。

本申请提出的解决方案

该目的是通过元件操控装置实现的，其用于将棱柱形元件从结构元件供应库取出并将该取出的元件放置到接收装置处，其具有集成自主调整装置。将具有多个拾取部件的第一转动装置配置成在分发点处从结构元件供应库接收元件，并将接收的元件以第一预定角度，绕自身纵轴或横轴转动，将之传送至放置点。将与第一和第二转动装置相关的位置和特性传感器配置成检测第一和第二转动装置的位置数据，位于拾取部件的元件的位置信息，和/或位于拾取部件的元件的特性，并将之提供给控制器。

将控制器配置成，特别是在实际元件传输之前，通过位置和特性传感器，于自主调整过程中在第一和/或第二转动装置的接收或转移元件的每一转移位置上，分别确定出该第一和/或第二转动装置和/或放置点的修正矢量，所述修正矢量均抵消在元件操控装置的自主调整过程中确定出的制造和安装误差。

将控制器进一步配置成通过第一旋转驱动绕第一轴以可控的方式旋转第一转动装置，通过第一线性驱动沿第一轴以可控的方式移动第一转动装置，通过第二旋转驱动绕不与第一轴共线的第二轴以可控的方式旋转第二转动装置，并通过第二线性驱动沿第二轴以可控的方式移动第二转动装置。

元件操控装置的控制器在元件转移操作中使用通过自主调整而确定的修正矢量来抵消在元件操控装置的自主调整过程中所确定出的制造和装配误差，所述误差通过所述的转动装置和/或放置点的运动或转动来确定。