[发明专利]减排装置

权利要求书

1.一种用于处理来自制造加工工具的废气流的减排装置，包括：

至少部分地限定处理室的多孔元件，处理材料穿过所述多孔元件以引入所述处理室内以处理所述废气流；和

可操作以发射红外能来加热所述多孔元件的红外加热设备，当所述处理材料穿过所述多孔元件进入所述处理室时，被红外加热设备加热的所述多孔元件加热所述处理材料；

包括可操作以控制所述红外加热设备来改变发射的红外能的控制器。

2.如权利要求1所述的减排装置，其中所述红外加热设备定位成紧邻所述多孔元件的表面以加热所述多孔元件的所述表面。

3.如权利要求1或2所述的减排装置，包括限定紧邻所述多孔元件的表面的集气室的外壁，从所述集气室提供所述处理材料给所述多孔元件，并且所述红外加热设备位于所述集气室内。

4.如权利要求3的减排装置，其中所述外壁是可反射的，以向所述多孔元件反射入射的红外能。

5.如权利要求1或2所述的减排装置，其中所述多孔元件限定紧邻所述多孔元件的表面的集气室，从所述集气室提供所述处理材料给所述多孔元件，并且所述红外加热设备位于所述集气室内。

6.如权利要求1或2所述的减排装置，包括可操作以提供围绕所述红外加热设备的吹扫气体的吹扫气体入口。

7.如权利要求1或2所述的减排装置，其中所述多孔元件的表面构造成提供对入射红外能的非均匀吸收。

8.如权利要求1或2所述的减排装置，其中所述多孔元件构造成提供从所述多孔元件的表面至所述处理室的非均匀的热传导。

9.如权利要求1或2所述的减排装置，其中所述红外加热设备构造成提供非均匀的红外能发射。

10.如权利要求1或2所述的减排装置，包括数个定位成发射红外能以加热所述多孔元件的整个表面的所述红外加热设备。

11.如权利要求1或2所述的减排装置，包括至少一个用于把所述废气流运送至所述处理室的入口，并且其中紧邻每个入口定位至少一个红外加热设备。

12.如权利要求1所述的减排装置，其中所述控制器可操作以执行下列中的至少一项：在具有减少的废气流流量的间隔过程中减少发射的红外能；在所述制造加工工具的非加工间隔过程中停止发射的红外能；以及基于所述废气流的组成改变发射的红外能。

13.一种方法，包括：

使处理材料穿过至少部分地限定用于处理废气流的处理室的多孔元件；和

用红外加热设备发射红外能以加热所述多孔元件，在处理材料穿过所述多孔元件进入所述处理室时，被红外加热设备加热的所述多孔元件加热所述处理材料；

用控制器来控制所述红外加热设备来改变发射的红外能。