[发明专利]减排装置

说明书

公开了一种减排装置和方法。所述减排装置用于处理来自制造加工工具的废气流，并且包括：至少部分地限定处理室的多孔元件，处理材料穿过所述多孔元件以引入所述处理室以处理废气流；以及可操作来发射红外能以加热所述多孔元件的红外加热设备，当所述处理材料穿过所述多孔元件进入处理室中时所述多孔元件加热所述处理材料。这样，红外能（而非燃烧）可以用来提高所述处理室中的温度以处理废气流。这为这种装置的使用提供了更大灵活性，因为所述装置可以用在没有燃料气存在或者不期望提供燃料气的环境中。此外，在所述处理材料穿过所述多孔套管的时候加热所述处理材料，而不直接用辐射热来加热所述处理室使多得多的能量在所述处理材料穿过所述多孔套管时传到所述处理材料中。

技术领域

本发明涉及减排装置和方法。

背景技术

减排装置已为人们所知并且通常用于处理来自用在比如半导体或平板显示器制造工业中的制造加工工具的废气流。在这种制造过程中，残余的全氟化合物（PFCs）和其他化合物存在于从加工工具泵出的废气流中。PFCs很难从废气中去除并且并不期望它们释放到环境中，因为已知它们具有相对高的温室效应。

公知的减排装置采用燃烧来从废气流去除PFCs和其他化合物。通常地，废气流是包含PFCs和其他化合物的氮气气流。燃料气与废气流混合，然后将该气流混合物输送到在侧面被有小孔的气体燃烧器的出口表面包围的燃烧室中。燃料气和空气同时提供给有小孔的燃烧器以影响在出口表面处的无焰燃烧，穿过有小孔的燃烧器的空气的量不仅足以消耗提供给燃烧器的燃料气而且也足以消耗注入燃烧室内的气流混合物中的所有可燃物。

尽管用于处理废气流的技术已存在，但是它们有它们各自的缺点。因此，人们期望提供用于处理废气流的改进技术。

发明内容

根据第一方面，提供了用于处理来自制造加工工具的废气流的减排装置，包括：至少部分地限定处理室的多孔元件，并且处理材料穿过所述多孔元件以进入所述处理室中以处理废气流；和可操作来发射红外能以加热所述多孔元件的红外加热设备，所述多孔元件在所述处理材料穿过所述多孔元件进入所述处理室时加热所述处理材料。

第一方面认识到公知的减排装置通常利用燃料气和空气以在所述处理室中提供燃烧以充分地提高所述燃烧室中的温度来从废气流去除化合物。这要求提供燃料气，而燃料气可能是不容易获得或在一些加工环境中可能是不期望出现的。因此，可以提供减排或处理装置。所述装置可以处理来自制造加工工具的废气流或工艺气流。所述装置可以包括多孔的或有小孔的元件。该元件可以至少部分地限定可以处理所述废气流的处理室。处理材料可以穿过、被运送或运输穿过所述元件然后进入所述处理室。所述装置还可以包括可以发射红外能或辐射以加热所述多孔元件的红外加热设备或元件。加热的所述多孔元件然后可以在所述处理材料穿过所述多孔元件进入所述处理室时加热所述处理材料。这样，红外能，而不是燃烧，可以用于提高所述处理室中的温度以处理废气流。这为使用这种装置提供了更大的灵活性，因为所述装置可以用在没有燃料气存在的环境中或不希望提供燃料气的环境中。此外，在所述处理材料穿过所述多孔套管时加热所述处理材料而不是直接用辐射热加热所述处理室使多得多的能量可以在所述处理材料运输通过所述多孔套管时传到所述处理材料中。

在一实施例中，所述红外加热设备定位成紧邻所述多孔元件的表面以加热所述多孔元件的所述表面。因此，所述红外加热设备可以定位在所述多孔元件的附近以加热所述多孔元件。

在一实施例中，所述装置包括限定紧邻所述多孔元件的所述表面的集气室的外壁，从所述集气室向所述多孔元件提供所述处理材料并且所述红外加热设备定位在所述集气室中。因此，所述集气室可以再用来容纳所述红外加热设备。

在一实施例中，所述外壁是反射外壁，以向所述多孔元件反射入射的红外能。提供反射壁增加了定向到所述多孔元件的辐射的量。

在一实施例中，所述外壁包括可操作以用在被提供给所述集气室之前的所述处理材料冷却所述外壁的冷却器。这防止了所述外壁变得过热并且预加热了所述处理材料。