[发明专利]测量用于基片的气氛输送和存储的运输箱的污染物的方法和系统

权利要求书

1.一种测量用于基片(3)的气氛输送和存储的运输箱(2)的污染物的方法，其中通过测量装置测量运输箱(2)内的至少一种气态物质的浓度，所述测量装置包括至少一个气体分析仪(5，5b)和将所述至少一个气体分析仪(5，5b)连接到接口(7)的测量管线(6)，所述接口(7)使测量管线(6)与至少一个运输箱(2)的内部气氛连通，其特征在于，在每次气态物质测量之后，将含水蒸气的气流供给到所述测量装置，其中，如果气态物质的浓度低于预定阈值，则供给具有第一湿度的气流，如果气态物质的浓度超过预定阈值，则供给具有大于所述第一湿度的第二湿度的气流。

2.根据权利要求1所述的测量用于基片(3)的气氛输送和存储的运输箱(2)的污染物的方法，其中，被测量浓度的至少一种气态物质是氢氟酸(HF)。

3.根据权利要求1或2所述的测量用于基片(3)的气氛输送和存储的运输箱(2)的污染物的方法，其中，含水蒸气的气流具有大于40％的湿度。

4.根据权利要求1或2所述的测量用于基片(3)的气氛输送和存储的运输箱(2)的污染物的方法，其中，含水蒸气的气流具有大于95％的湿度。

5.根据权利要求1或2所述的测量用于基片(3)的气氛输送和存储的运输箱(2)的污染物的方法，其中，含水蒸气的气流是湿空气。

6.根据权利要求1或2所述的测量用于基片(3)的气氛输送和存储的运输箱(2)的污染物的方法，其中，在执行污染物测量的同时向所述测量装置供给含水蒸气的气流。

7.根据权利要求1或2所述的测量用于基片(3)的气氛输送和存储的运输箱(2)的污染物的方法，其中，在进行了污染物测量与隔离所述接口(7)之后，将含水蒸气的气流供给到所述测量装置。

8.一种测量用于基片的气氛输送和存储的运输箱的污染物的系统，该系统包括：

-测量装置，该测量装置包括至少一个气体分析仪(5，5b)和与所述至少一个气体分析仪(5，5b)连接的测量管线(6)，以及

-接口(7)，所述接口(7)用于使所述测量管线(6)与至少一个运输箱(2)的内部气氛连通，以便通过所述至少一个气体分析仪(5，5b)对包含在运输箱(2)的内部气氛中的至少一种气态物质进行分析，

其特征在于，所述系统包括湿度发生器(9)，所述湿度发生器(9)配置为在每次气态物质测量之后，向所述测量装置供给含水蒸气的气流，其中，如果气态物质的浓度低于预定阈值，则供给具有第一湿度的气流，如果气态物质的浓度超过预定阈值，则供给具有大于所述第一湿度的第二湿度的气流。

9.根据权利要求8所述的测量用于基片的气氛输送和存储的运输箱的污染物的系统，其特征在于，所述湿度发生器(9)联接到测量管线(6)，所述测量管线(6)将所述至少一个气体分析仪(5，5b)连接到所述接口(7)，所述测量系统包括布置在所述测量管线(6)上的至少一个阀(8；8a，8b，8c)，所述阀(8；8a，8b，8c)被配置为使所述接口(7)与至少一个气体分析仪(5，5b)连通或使所述至少一个气体分析仪(5，5b)与所述湿度发生器(9)连通。

10.根据权利要求8或9所述的测量用于基片的气氛输送和存储的运输箱的污染物的系统，其特征在于，所述至少一个气体分析仪(5，5b)包括采样泵。

11.根据权利要求8或9所述的测量用于基片的气氛输送和存储的运输箱的污染物的系统，其特征在于，所述至少一个气体分析仪(5，5b)包括通过吸收光谱操作的光学传感器。