[发明专利]用于高分辨率电子图案化的无缝线直接成像

说明书

一种制造对象的方法包括接收CAD文档，所述CAD文档包括用于直接写成于表面上的电路设计数据，所述CAD文档包括欲在所述表面上制作的大量对象的CAD数据；将直接写成机器自动配置成基于所述CAD数据以多次扫描将直接写成数据直接写成在所述表面上，每次扫描均具有比所述表面的宽度小的扫描宽度，所述自动配置步骤包括将欲在所述多次扫描中的每一个中以并排方式写成的所述大量对象的所述直接写成数据排布成处于所述扫描宽度内，由此免除在相邻扫描之间的直接写成数据的缝合；以及操作所述直接写成机器以在所述表面上形成所述大量对象。

相关申请的交叉引用

本案在此参照于2015年11月3日提出申请且名称为“用于高分辨率电子图案化的无缝线直接成像(STITCHLESS DIRECT IMAGING FOR HIGH RESOLUTION ELECTRONICPATTERNING)”的第62/249,971号美国专利申请，所述美国专利申请的公开内容在此以引用方式并入本文，且所述美国专利申请案的优先权是依据37CFR 1.78(a)(4)和(5)(i)而在此主张。

技术领域

本发明涉及直接成像，且更具体地涉及激光直接成像电子图案化。

背景技术

各种类型的直接成像系统已为人所知。

发明内容

本发明旨在提供一种改良的用于高分辨率电子图案化的直接成像系统。

因此，根据本发明的优选实施例，提供一种制造对象的方法，其包括：接收CAD文档，所述CAD文档包括用于直接写成于表面上的电路设计数据，所述CAD文档包括欲在所述表面上制作的大量对象的CAD数据；将直接写成机器自动配置成基于所述CAD数据以多次扫描将直接写成数据直接写成在所述表面上，每次扫描均具有比所述表面的宽度小的扫描宽度，所述自动配置步骤包括将欲在所述多次扫描中的每一个中以并排方式写成的所述大量对象的所述直接写成数据排布成处于所述扫描宽度内，由此免除在相邻扫描之间的直接写成数据的缝合(stitch)；以及操作所述直接写成机器以在所述表面上形成所述大量对象。

优选地，所述方法还包括对所述表面执行光学成像。

优选地，所述自动配置步骤包括修改从所述CAD文档导出的数据，以将通过所述光学成像而发现的在所述表面的构形及位置中的至少一个的不准确性(inaccuracy)及变形(distortion)中的至少一个考虑在内。

优选地，所述直接写成数据被配置成使得任何对象均为通过不多于单次扫描而写成。

根据本发明的优选实施例，对象由多个层形成，所述多个层是被依序彼此上下对齐地写成，且所述自动配置步骤包括将所述直接写成机器自动配置成基于所述CAD数据以所述多次扫描将所述多个层中的每一个的直接写成数据直接写成在所述表面上，每次扫描均具有比所述表面的所述宽度小的扫描宽度，所述自动配置步骤包括将欲在所述多次扫描中的每一个中以并排方式写成的所述大量对象的所述多个层的所述直接写成数据排布成处于所述扫描宽度内，由此免除在相邻扫描之间的直接写成数据的缝合。

优选地，所述多次扫描中的每次扫描的范围由扫描缝(seam)限定，所述直接写成数据被配置成使得每一扫描缝位于所述对象之间且不覆盖所述对象。

优选地，所述多次扫描中的相邻扫描的扫描缝相互间隔开。可选地，所述多次扫描中的相邻扫描的扫描缝是邻接的。可选地，所述多次扫描中的相邻扫描的扫描缝是交叠的。

优选地，所述表面包括平板显示器，且所述对象包括所述平板显示器的多个单元。

可选地，所述表面包括晶圆，且所述对象包括多个裸芯。

优选地，所述直接写成机器包括单一读/写组件，所述多次扫描通过所述读/写组件依序执行。