[发明专利]具有基础层及附着于其上的窗的抛光垫

权利要求书

1.一种用于抛光基板的抛光垫，该抛光垫包含：

具有第一模量的基础层；

附着于该基础层上的抛光层，且其具有低于该第一模量的第二模量；

穿过该抛光层的第一开口及穿过该基础层的第二开口，该第一开口暴露该第二开口的至少一部分且暴露该基础层的一部分；以及

安置于该第一开口中且附着于该基础层的暴露部分的窗，其中该窗具有延伸进入该第二开口的部分，且其中该窗利用搭扣配合配置附着于该基础层的暴露部分。

2.如权利要求1的抛光垫，其中该第一开口暴露该整个第二开口。

3.如权利要求1的抛光垫，其中该窗利用选自由以下组成的群的粘接层附着于该基础层的暴露部分：压敏粘接剂(PSA)层、双组分环氧树脂层、UV固化树脂层、基于有机硅的粘接层、转移带层、及热熔性层。

4.如权利要求3的抛光垫，其中该粘接层为无差别双面胶带PSA层。

5.如权利要求3的抛光垫，其中该粘接层为第一双面胶带PSA层，且其中该抛光层利用第二双面胶带PSA层附着于该基础层上，该第二双面胶带PSA层的厚度与使该窗附着于该基础层的该第一双面胶带PSA层的厚度相同。

6.如权利要求3的抛光垫，其中该粘接层为有差别双面胶带PSA层。

7.如权利要求1的抛光垫，其中该窗利用焊接区域附着于该基础层的暴露部分。

8.如权利要求7的抛光垫，其中该焊接区域为选自由点焊接区域、线焊接区域及多线焊接区域组成的群的区域。

9.如权利要求1的抛光垫，其进一步包含：

在与该抛光层相对的该基础层一侧附着于该基础层上的下垫；以及

穿过该下垫的第三开口，该第三开口经设定大小且与该第二开口对准。

10.如权利要求1的抛光垫，其中由该抛光层的平面图视角，该窗具有与该第一开口相同的形状。

11.如权利要求10的抛光垫，其中该形状选自由以下组成的群：圆形、椭圆形、正方形、矩形、及具有弧形角的矩形。

12.如权利要求10的抛光垫，其中该窗的周界的尺寸在该周界所有部分相对于该第一开口的周界减小在5至15密耳范围内的量。

13.如权利要求1的抛光垫，其中相对于该基础层，该窗具有低于该抛光层最上表面的最上表面。

14.如权利要求1的抛光垫，其中由该抛光层的平面图视角，该第一开口具有与该第二开口相同的形状，且其中该第二开口的周界的尺寸在该周界所有部分相对于该第一开口的周界减小在10至500密耳范围内的量。

15.如权利要求14的抛光垫，其中该第二开口的周界的尺寸在该周界所有部分相对于该第一开口的周界减小在100至300密耳范围内的量。

16.如权利要求1的抛光垫，其中该抛光层利用粘接层附着于该基础层上。

17.如权利要求1的抛光垫，其中该抛光层藉由该抛光层至该基础层的共价键结附着于该基础层上。

18.如权利要求1的抛光垫，其中该窗包含选自由以下组成的群的材料：聚对苯二甲酸乙二酯材料、聚氨基甲酸酯材料、环烯烃共聚物材料、聚碳酸酯材料、聚酯材料、聚丙烯材料、及聚乙烯材料。

19.如权利要求1的抛光垫，其中该窗包含对在300至800纳米范围内的宽广光谱照射透明的材料。