[发明专利]磁场传感器以及具备其的磁场检测装置

说明书

本发明的磁场传感器具备：传感器芯片(20)，具有形成了磁检测元件(MR3)的元件形成面(20S)；第1磁性体(31)，被配置于元件形成面(20S)上并且以元件形成面(20S)为基准的高度为H1；第2磁性体(32)，从所述磁检测元件(MR3)来看，被设置于与第1磁性体(31)相反侧并且具有低于高度H1的高度H2。根据本发明，因为第2磁性体(32)的高度H2低于第1磁性体(31)，所以既能够由第2磁性体(32)来屏蔽干扰磁场，又能够减少被吸引到第2磁性体(32)的检测磁场由此，能够既确保高检测灵敏度，又减少干扰磁场的影响。

技术领域

本发明涉及磁场传感器以及具备该磁场传感器的磁场检测装置，特别是涉及能够既确保高检测灵敏度又减少干扰磁场的影响的磁场传感器以及具备该磁场传感器的磁场检测装置。

背景技术

使用了磁阻效应元件等的磁传感器被广泛应用于电流计和磁编码器等。在磁传感器中，会有设置用于将磁通集中于传感器芯片的磁性体的情况(参照专利文献1)。如果将用于集中磁通的磁性体设置于传感器芯片，则提高相对于垂直方向磁场的灵敏度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-276159号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在传感器芯片中，存在除了暴露于检测对象即检测磁场之外，还暴露于噪音即干扰磁场的问题，所以会有由干扰磁场使检测灵敏度降低的担忧。为了减少干扰磁场的影响，考虑了通过将别的磁性体配置于传感器芯片上或者其近旁从而屏蔽干扰磁场的方法。

关于该方法，本发明人做了深入研究探讨从而明确了：根据屏蔽用磁性体的尺寸或位置，本来想检测的检测磁场被吸引到该磁性体，其结果反倒使检测灵敏度降低。

因此，本发明的目的是提供一种能够既确保高检测灵敏度又减少干扰磁场的影响的磁场传感器以及具备该磁场传感器的磁场检测装置。

解决技术问题的手段

本发明所涉及的磁传感器的特征在于：具备：传感器芯片，具有形成了第1磁检测元件的元件形成面；第1磁性体，被配置于所述元件形成面上，并且以所述元件形成面为基准的高度具有第1高度；以及第2磁性体，从所述第1磁检测元件来看，被设置于与所述第1磁性体相反侧，并且具有低于所述第1高度的第2高度。

根据本发明，因为第2磁性体的高度低于第1磁性体，所以既能够由第2磁性体来屏蔽干扰磁场，又能够减少被吸引到第2磁性体的检测磁场。由此，能够既确保高检测灵敏度又减少干扰磁场的影响。

在本发明中，优选所述第2磁性体被配置于所述元件形成面上。由此，能够固定第1磁性体以及第1磁检测元件与第2磁性体的相对位置关系。

在本发明中，优选在所述传感器芯片的所述元件形成面上进一步形成有第2磁检测元件，所述第1磁性体被配置于所述第1磁检测元件与所述第2磁检测元件之间。由此，可以由来自第1磁检测元件的输出信号与来自第2磁检测元件的输出信号的差来检测检测磁场的强度。

在本发明中，优选在将所述第1磁检测元件以及第2磁检测元件的排列方向设定为宽度方向，并且将与所述元件形成面平行且与所述宽度方向垂直的方向设定为长度方向的情况下，所述第1磁性体以及第2磁性体在所述长度方向上的尺寸大于在所述宽度方向上的尺寸。由此，就能够扩大对于垂直方向磁场的检测范围。再有，也可以对磁传感器的尺寸进行小型化。

在此情况下，也可以所述第1磁性体以及第2磁性体中的至少一者在所述长度方向上的尺寸大于所述传感器芯片在所述长度方向上的尺寸。另外，也可以所述第1磁性体以及第2磁性体在所述长度方向上的尺寸互相不同。再有，也可以所述第1磁性体以及第2磁性体在所述宽度方向上的尺寸互相不同。再有，也可以所述第2磁性体在所述长度方向上被分割成多个。