[发明专利]相移量测定装置

权利要求书

1.一种相移量测定装置，测定相移掩模的相移量，其特征在于，

在从光源至拍摄双重干涉图像的摄像装置的单一光路上，从上游侧起具备：

衍射光栅，其衍射直线偏振光而生成多个衍射光；

样品台，其保持在透明基板上形成有图案部和移相器部的所述相移掩模的周缘部，并在中央部形成开口部；

双楔棱镜，其生成所述相移掩模的图案的横向偏移双重图像，并且，使通过了所述相移掩模的所述图案部及所述移相器部的所述衍射光干涉，以遍及光射出端面的整个面形成均匀的干涉图像的方式相对于光轴向所述双重图像的生成方向倾斜地配置；

移动单元，其使所述双楔棱镜在所述双重图像的生成方向上，与所述双楔棱镜的光入射端面或光射出端面平行地滑动移动。

2.如权利要求1所述的相移量测定装置，其特征在于，

在所述衍射光栅的光行进方向上游侧及所述双楔棱镜的光行进方向下游侧分别配置有λ/4板。

3.如权利要求1或2所述的相移量测定装置，其特征在于，

在所述衍射光栅的光行进方向上游侧配置有使g线、h线及i线中的至少任一个光线透射的带通滤波器。

4.如权利要求1或2所述的相移量测定装置，其特征在于，

具备使所述衍射光栅和所述双楔棱镜一体地绕光轴旋转的旋转单元。

5.如权利要求1或2所述的相移量测定装置，其特征在于，

所述双楔棱镜为Nomarski棱镜。