[发明专利]相移量测定装置

说明书

本发明提供一种测定相移掩模(15)的相移量的装置，其中，在从光源(1)至拍摄双重干涉图像的摄像装置(2)的单一光路上具备：衍射光栅(7)，其衍射直线偏振光而生成多个衍射光；Nomarski棱镜(11)，其生成相移掩模(15)的图案的横向偏移双重图像，并且使通过了相移掩模(15)的图案部(18)及移相器部(19)的衍射光干涉；移动单元(21)，其使Nomarski棱镜(11)沿双重图像的生成方向滑动移动。

技术领域

本发明涉及一种测定相移掩模的相移量的相移量测定装置，尤其是涉及一种构造简单且温度稳定性优异的相移量测定装置。

背景技术

现有的相移量测定装置在透明基板上形成移相器层的前后，使用马赫曾德耳干涉仪测定其透明基板的同一部位的透射光的相位差，在透明基板上形成移相器层的期间，在载置透明基板的干涉仪的样品台上替代载置虚拟透明基板，检测出透射其间的虚拟透明基板的光的相位变动，在测定透射透明基板上形成了移相器层之后的透明基板的光的相位时，通过干涉仪的一个光路的光路长度修正单元进行光路长度修正来抵消其相位变动量(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开平11－327119号公报

发明所要解决的问题

但是，在这种现有的相移量测定装置中，马赫曾德耳干涉仪将光路分离成两个，同时再次合成两条光路，构造复杂，因此，合并两条光路长度的调整作业困难，且因为分离的两条光路的光路长度长，所以存在缺乏温度稳定性的问题。

另外，通过包含掩模本体的厚度的所述两条光路的光路差也会产生干涉，因此，在每次更换掩模时，需要以不会产生由掩模本体的厚度的偏差引起的干涉的方式调节两条光路的光路长度。因此，考虑到量产品的掩模的厚度的偏差时并不实用。

发明内容

因此，本发明应对这样的问题点，其目的在于，提供一种构造简单且温度稳定性优异的相移量测定装置。

用于解决问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明提供一种相移量测定装置，测定相移掩模的相移量，其中，在从光源至拍摄双重干涉图像的摄像装置的单一光路上，具备：衍射光栅，其衍射直线偏振光而生成多个衍射光；双楔棱镜，其生成所述相移掩模的图案的横向偏移双重图像，并且，使通过了所述相移掩模的图案部及移相器部的所述衍射光干涉；移动单元，其使所述双楔棱镜沿所述双重图像的生成方向滑动移动。

发明效果

根据本发明，与在分离成两个的光路上分别配置双楔棱镜的现有的构造不同，能够通过仅在单一光路上可移动地配置一个双楔棱镜的简单的构造实现共享干涉。因此，能够降低装置的制造成本。另外，干涉的两个光线的光路差因为在双楔棱镜内被确定，所以非常小。因此，温度稳定性优异，能够以高的精度测定相移量。进而，能够同时进行相移量的测定和移相器层的透射率的测定。

附图说明

图1是表示本发明的相移量测定装置的一实施方式的主视图。

图2是表示被测定用的相移掩模的说明图，(a)是俯视图，(b)是(a)的A－A线剖面向视图。

图3是表示衍射光栅的设计的说明图。

图4是表示干涉图像的亮度变化的曲线图。

图5是说明本发明的相移量测定装置进行的相移量的测定的说明图，(a)表示仅相移量的测定例，(b)表示相移量和透射率的测定例。

图6是说明代替衍射光栅使用的针孔板的俯视图。

符号说明

1…光源

2…摄像装置