[发明专利]蒸汽释放装置及成膜装置

权利要求书

1.一种蒸汽释放装置，在真空中释放有机化合物单体的蒸汽，具有：

气化部，其将液体状的有机化合物单体气化；

蒸汽释放部，其与所述气化部连通，释放所述气化部中气化的有机化合物单体的蒸汽，以及

将所述气化部及所述蒸汽释放部分别整体加热的加热单元，

在所述气化部内设有中空的蒸发器，所述蒸发器构成为使所述液体状的有机化合物单体成为雾状而导入至其中空的内部，并加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将该有机化合物单体的蒸汽向所述气化部内导出，

所述蒸发器具有蒸发器用加热器，并且在所述蒸发器的上部，设有用于使所述液体状的有机化合物单体成为雾状而向所述蒸发器内导入的喷嘴部、以及用于向所述气化部内导出所述有机化合物单体的蒸汽的导出口，

所述蒸发器配置在所述气化部的门部附近，从而在所述气化部内部的所述蒸汽释放部侧，形成暂且储存所述有机化合物单体的蒸汽的空间。

2.根据权利要求1所述的蒸汽释放装置，其特征在于，具有向所述蒸发器供给液体状的有机化合物单体的单体供给管、和冷却该单体供给管的冷却单元。

3.根据权利要求2所述的蒸汽释放装置，其特征在于，所述喷嘴部设于所述单体供给管的前端部，该喷嘴部的前端部以相对于所述蒸发器的内壁面不会向该蒸发器的内方突出的方式配置并构成。

4.一种成膜装置，具有：

真空槽；以及

蒸汽释放装置，其设置在所述真空槽内，在真空中释放有机化合物单体的蒸汽，

所述蒸汽释放装置具有：将液体状的有机化合物单体气化的气化部；与所述气化部连通并释放所述气化部中气化的有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放部；以及将所述气化部及所述蒸汽释放部分别整体加热的加热单元，

在所述气化部内设有中空的蒸发器，所述蒸发器构成为使所述液体状的有机化合物单体成为雾状而导入至其中空的内部，并加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将该有机化合物单体的蒸汽向所述气化部内导出，

所述蒸发器具有蒸发器用加热器，并且在所述蒸发器的上部，设有用于使所述液体状的有机化合物单体成为雾状而向所述蒸发器内导入的喷嘴部、以及用于向所述气化部内导出所述有机化合物单体的蒸汽的导出口，

所述蒸发器配置在所述气化部的门部附近，从而在所述气化部内部的所述蒸汽释放部侧，形成暂且储存所述有机化合物单体的蒸汽的空间，

该成膜装置构成为：在所述真空槽内从所述蒸汽释放装置的蒸汽释放部对于输送的基体材料膜喷涂有机化合物单体的蒸汽。

5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，所述蒸汽释放装置的气化部设在所述真空槽的外侧。