[发明专利]蒸汽释放装置及成膜装置

说明书

本发明目的在于提供一种能够在真空中基体材料膜上形成有机化合物膜时使有机化合物单体的蒸汽按一定的比例产生并使成膜速率稳定的技术。本发明是一种在真空中释放有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放装置，具有：将液体状的有机化合物单体气化的气化部21；以及与气化部21连通并释放气化部21中气化的有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放部22。在气化部21内设有中空的蒸发器40。该蒸发器40构成为使液体状的有机化合物单体成为雾状而导入，并加热雾状的有机化合物单体34而使之蒸发，将有机化合物单体的蒸汽向气化部21内导出。

技术领域

本发明涉及用于在真空中基体材料膜上形成有机化合物膜的成膜装置的技术。

背景技术

近年来，有想在基体材料膜上有效率地形成电子部件等要求，因此，提出了在真空中输送长条的基体材料膜而在基体材料膜上形成由高分子有机化合物构成的膜的技术。

一直以来，在真空中基体材料膜上形成高分子有机化合物膜的情况下，例如进行如下步骤：使有机化合物单体蒸发，并将该蒸汽喷涂到基体材料膜上而形成有机化合物层，通过对该有机化合物层进行加热或者照射能量线来使之硬化，从而形成高分子有机化合物膜。

然而，在真空中利用这样的方法在基体材料膜上形成高分子有机化合物膜的情况下存在各种课题。

即，难以在真空中以均匀的膜厚在基体材料膜上形成有机化合物的单体的膜，特别是，使有机化合物单体的蒸汽按一定的比例产生并使成膜速率稳定是非常困难的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－169144号公报。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是考虑了这样的现有技术的课题而作出的，其目的在于提供一种能够在真空中基体材料膜上形成有机化合物膜时使有机化合物单体的蒸汽按一定量产生并使成膜速率稳定的技术。

用于解决课题的方案

为了达成上述目的而作出的本发明，是一种在真空中释放有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放装置，具有：气化部，其将液体状的有机化合物单体气化；以及蒸汽释放部，其与前述气化部连通，释放前述气化部中气化的有机化合物单体的蒸汽，在前述气化部内设有中空的蒸发器，该蒸发器构成为使前述液体状的有机化合物单体成为雾状而导入，并加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将该有机化合物单体的蒸汽向前述气化部内导出。

在本发明中，具有将前述气化部及前述蒸汽释放部分别整体加热的加热单元的情况下也有效。

在本发明中，具有向前述蒸发器供给液体状的有机化合物单体的单体供给管、和冷却该单体供给管的冷却单元的情况下也有效。

在本发明中，用于使前述液体状的有机化合物单体成为雾状而向前述蒸发器内导入的喷嘴部设于前述单体供给管的前端部，该喷嘴部的前端部以相对于前述蒸发器的内壁面不会向该蒸发器的内方突出的方式配置并构成的情况下也有效。

另一方面，本发明为一种成膜装置，具有：真空槽；以及设置在前述真空槽内的上述任一种蒸汽释放装置，该成膜装置构成为在前述真空槽内从前述蒸汽释放装置的蒸汽释放部对于输送的基体材料膜喷涂有机化合物单体的蒸汽。

在本发明中，前述蒸汽释放装置的气化部设置在前述真空槽的外侧的情况下也有效。

发明效果

在本发明的蒸汽释放装置中，在气化部内设置中空的蒸发器，使得液体状的有机化合物单体成为雾状而向蒸发器内导入，加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将有机化合物单体的蒸汽向气化部内导出而从蒸汽释放部释放。