[发明专利]含酚性羟基树脂及抗蚀膜有效

专利信息
申请号: 201680070848.9 申请日: 2016-11-17
公开(公告)号: CN108290991B 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 今田知之;佐藤勇介 申请(专利权)人: DIC株式会社
主分类号: C08G8/30 分类号: C08G8/30;C08L61/14;G03F7/023
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 含酚性 羟基 树脂 抗蚀膜
【权利要求书】:

1.一种含酚性羟基树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)所示的结构部位作为重复单元,且树脂中存在的R2或R3中的至少一个为碳原子数9~24的脂肪族烃基,X的20摩尔%以上是k的值为1的结构部位,

式(1)中,R1为氢原子、烷基、芳基中的任意者,X为下述结构式(2)所示的结构部位(α)或下述结构式(3)所示的结构部位(β)中的任意者,

式(2)中,k为0、1、2中的任意者;R2各自独立地为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者,l各自独立地为1~4的整数;R3为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者,m为1~4的整数;*为与式(2)中示出的3个芳香环中的任意者的键合点,2个*可以与同一芳香环键合,也可以各自与不同的芳香环键合,

式(3)中,k为0、1、2中的任意者;R2各自独立地为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者,l各自独立地为1~4的整数;R3为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者,n为1~6的整数;*为与式(3)中示出的3个芳香环中的任意者的键合点,2个*可以与同一芳香环键合,也可以各自与不同的芳香环键合。

2.一种感光性组合物,其含有权利要求1所述的含酚性羟基树脂和光敏剂。

3.一种抗蚀膜,其由权利要求2所述的感光性组合物形成。

4.一种固化性组合物,其含有权利要求1所述的含酚性羟基树脂和固化剂。

5.权利要求4所述的固化性组合物的固化物。

6.一种抗蚀膜,其由权利要求4所述的固化性组合物形成。

7.一种含酚性羟基树脂的制造方法,其中,使酚醛清漆树脂中间体与碳原子数9~24的烯烃化合物(C)进行反应,所述酚醛清漆树脂中间体是以具有下述结构式(4)或(5)中的任意者所示的分子结构的三芳基甲烷型化合物(A)和醛化合物(B)作为必需成分反应而得到的,

式中,k为0、1、2中的任意者;R2各自独立地为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者,l各自独立地为1~4的整数;R3为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者,m为1~4的整数,n为1~6的整数。

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