[发明专利]光罩架系统

权利要求书

1.一种光罩架单元，其包括：

具有四个立柱及多个纵横杆的框架，所述框架具有界定前侧及后侧的最长尺寸；

四个旋转门架，所述四个旋转门架安装到所述框架以围绕平行于所述四个立柱的相应旋转轴枢转；

其中每一旋转门架界定经定大小以固持光罩的多个光罩嵌套。

2.根据权利要求1所述的光罩架单元，其中每一旋转门架包括四个狭槽堆叠，每一堆叠包含28个狭槽。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的光罩架单元，其中所述多个光罩嵌套包括448个光罩嵌套。

4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光罩架单元，其中每一旋转门架包括矩形塔。

5.根据权利要求1所述的光罩架单元，其中每一旋转门架包括矩形塔，所述矩形塔包含四个光罩嵌套堆叠，且其中仅当相应堆叠面向所述框架的所述前侧时可从堆叠移除光罩。

6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光罩架单元，其进一步包括：

两个静电发射器；及

两个风扇过滤单元，其保护存储在所述光罩架单元中的任何光罩免受所述光罩架单元周围的空气中的颗粒影响。

7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光罩架单元，其进一步包括：

四个制动器，每一制动器与一个旋转门架相关联；及

电子控制器，其在任何时间仅允许一个制动器脱离。

8.根据权利要求7所述的光罩架单元，其进一步包括四个超控开关，每一开关与一个旋转门架相关联且可操作以超控所述电子控制器并允许所述相关联的旋转门架转动。

9.根据权利要求7或权利要求8所述的光罩架单元，其进一步包括一组视觉信号，所述视觉信号指示每一制动器是接合还是脱离。

10.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光罩架单元，其进一步包括：

手持扫描枪，其用于读取更换于所述光罩架单元的光罩嵌套中或从所述光罩架单元的光罩嵌套移除的光罩上的标签；及

监测器，其显示从所述标签读取的标识码。

11.一种用于将光罩存储在半导体厂中的光罩架单元的系统，所述系统包含多个光罩架单元，每一光罩架单元包括：

具有四个立柱及多个纵横杆的框架，所述框架具有界定前侧及后侧的最长尺寸；

四个旋转门架，所述四个旋转门架安装到所述框架以围绕平行于所述四个立柱的相应旋转轴枢转；

其中每一旋转门架界定经定大小以固持光罩的多个光罩嵌套。

12.根据权利要求11所述的系统，其中每一旋转门架包括四个狭槽堆叠，每一堆叠包含28个狭槽。

13.根据权利要求11或权利要求12所述的系统，其中所述多个光罩嵌套包括448个光罩嵌套。

14.根据权利要求11到13中任一权利要求所述的系统，其中每一旋转门架包括矩形塔。

15.根据权利要求11所述的系统，其中每一旋转门架包括矩形塔，所述矩形塔包含四个光罩嵌套堆叠，且其中仅当相应堆叠面向所述框架的所述前侧时可从堆叠移除光罩。

16.根据权利要求11到15中任一权利要求所述的系统，其进一步包括：

两个静电发射器；及

两个风扇过滤单元，其保护存储在所述光罩架单元中的任何光罩免受所述光罩架单元周围的空气中的颗粒影响。