[发明专利]生物芯片制作用紫外线曝光装置

权利要求书

1.一种生物芯片制作用紫外线曝光装置，包括：

腔室；

安装部，配设在所述腔室的内部，并沿第一方向能够被引出到所述腔室的外部，所述安装部用于安装曝光掩模及在一面涂覆有感光性高分子的晶圆基板；

曝光掩模固定部，配设在所述安装部的上部，用于支撑所述安装部的上部以固定配设在与所述安装部之间的所述曝光掩模，并包括使紫外线传递到所述曝光掩模的透射窗；及

光源部，配设在所述腔室的内部，用于向所述晶圆基板及所述曝光掩模提供紫外线，

所述安装部包括：

真空衬垫，配设在所述安装部的下部，通过在与所述晶圆基板之间形成真空来将所述晶圆基板及所述曝光掩模固定在所述安装部上；及

通气孔，用于使空气向所述真空衬垫流动，以使被所述真空衬垫固定的所述晶圆基板及所述曝光掩模从所述安装部脱离。

2.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述安装部进一步包括：驱动单元，用于使安装在所述安装部上的所述晶圆基板及所述真空衬垫沿着与所述腔室的高度方向平行的第二方向移动。

3.根据权利要求2所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述驱动单元包括：

倾斜凸轮，通过旋转使所述真空衬垫沿着所述第二方向移动；及

凸轮轴，其为倾斜凸轮的旋转轴。

4.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，进一步包括：

一对轨道部，沿着所述第一方向设置在所述腔室的内壁上，在所述安装部被引出到所述腔室的外部或被引入所述腔室的内部时，所述一对轨道部用于引导所述安装部的移动。

5.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述腔室包括多个面以将所述内部与所述外部切断，在多个面中的一个面的至少一部分被开放，并且通过开放的所述一面引出及引入所述安装部。

6.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

在所述安装部上安装一个所述晶圆基板。

7.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述曝光掩模固定部铰接在所述安装部的一侧。

8.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述安装部进一步包括：加压单元，配设在所述安装部及所述曝光掩模固定部的边缘，用于加压所述曝光掩模固定部使其紧贴于所述安装部。

9.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述光源部包括：发光二极管，用于发射紫外线波长的光。

10.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述光源部用于发射单一波长的紫外线。

11.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，进一步包括：

定时部，用于设定所述感光性高分子的曝光时间。

12.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述晶片基板包括硅材质。

13.根据权利要求1所述的生物芯片制作用紫外线曝光装置，其中，

所述真空衬垫由弹性材质构成。