[发明专利]生物芯片制作用紫外线曝光装置

说明书

本记载涉及一种生物芯片制作用紫外线曝光装置，其进一步减小装置所占的体积，因此在狭小的场所中也能使用，且能进一步减轻装置的制作所需费用，因此在无费用负担的情况下能够普遍使用，其能够制造用于制作具有微细结构的生物芯片的主模。

技术领域

本记载涉及一种生物芯片制作用紫外线曝光装置，更为具体地，涉及一种用于具有微细结构的生物芯片的制作且能不受场所和费用的限制而使用的生物芯片制作用紫外线曝光装置。

背景技术

随着现代医学技术的发展，不仅是治疗人类疾病的技术，诊断疾病的技术也一起得到了发展。诊断疾病的技术，过去是以从人体的外部观察或者问诊的形式进行的，而自从可通过X光摄像观察人体内部的时候开始得到了很大的发展。最近，不仅通过核磁共振成像(Magnetic Resonance Imaging，MRI)摄像法、计算机断层(Computed Tomography，CT)摄像法等大型设备诊断疾病，还可通过内窥镜向人体内部插入摄像设备简单地观察人体的内部而诊断疾病。而且，有望逐渐地引入通过向血管内插入具有纳米单位大小的诊断机器人观察人体内部的技术。

但是，现代人难以克服的难治之症之一的癌症，若使用X光摄像较难作出诊断，若使用核磁共振成像摄像法或者计算机断层摄像法，其诊断费用较高，导致经济负担重。而且，通过内窥镜也能够进行直接观察，但是能够投入内窥镜的人体器官有限，因此，难以广泛适用于有可能在多种部位发生的癌症的诊断。另外，插入人体内的诊断机器人由于还处于研究开发阶段，因此其商业化可能需要很长一段时间。

为了解决所述问题，作为最近备受瞩目的癌症诊断技术有利用生物芯片的癌症诊断技术。该技术在包含与癌细胞特异性地结合的诊断试剂的生物芯片里投放患者的细胞，并观察其特异性结合与否，以更加容易地诊断癌症的发病与否。

生物芯片需要形成具有与细胞类似大小的结构的微流道，以能够进行细胞的分离。为了制作具有这种微流道的生物芯片，需要具有对应于微流道的形状的主模。由于主模也要具有微细结构，因此为了形成这样的微细结构，要使用利用对应于微细结构的形状的曝光掩模固化感光性高分子的曝光工序。

但是，由于现有的曝光装置包括用于对齐多个掩模的结构，其体积很庞大，因此能够使用该装置的场所受限，并且制造所需要的费用高，因此其购买需要很大的费用，因此很难普遍使用。

发明内容

本记载提供一种生物芯片制作用紫外线曝光装置，其用于具有微细结构的生物芯片的制作且能不受场所和费用的限制而使用。

而且，本发明所要解决的技术问题并不限定于所述技术问题，本发明所属技术领域的技术人员应能清楚理解未提到的其他技术问题。

本发明的一实施例的生物芯片制作用紫外线曝光装置包括：腔室；安装部，配设在腔室内部，并沿第一方向能够被引出到腔室的外部，安装部用于安装曝光掩模及在一面涂覆有感光性高分子的晶圆基板；曝光掩模固定部，配设在安装部的上部，用于支撑安装部的上部以固定配设在与安装部之间的曝光掩模，并包括使紫外线传递到曝光掩模的透射窗；及光源部，配设在腔室内部，用于向晶圆基板及曝光掩模提供紫外线，安装部包括：真空衬垫，配设在安装部的下部，通过在与晶圆基板之间形成真空来将晶圆基板及曝光掩模固定在安装部上；及通气孔，用于使空气向真空衬垫流动，以使被真空衬垫固定的晶圆基板及曝光掩模从安装部脱离。

此时，安装部可进一步包括：驱动单元，用于使安装在安装部上的晶圆基板及真空衬垫沿着与腔室的高度方向平行的第二方向移动。

驱动单元可包括：倾斜凸轮，通过旋转使真空衬垫沿着第二方向移动；及凸轮轴，其为倾斜凸轮的旋转轴。

本实施例的生物芯片制作用紫外线曝光装置可进一步包括：一对轨道部，沿着第一方向设置在腔室的内壁上，在安装部被引出腔室的外部或者被引入腔室的内部时，所述一对轨道部用于引导安装部的移动。