[发明专利]微结构图案在审

专利信息
申请号: 201680072839.3 申请日: 2016-10-13
公开(公告)号: CN108369371A 公开(公告)日: 2018-08-03
发明(设计)人: 亨利·克劳迪乌斯·比林斯基 申请(专利权)人: 麦克罗托知识产权私人有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;B05D5/00;C09D133/00;C09D175/04;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/26;G03F1/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 沈敬亭;殷爽
地址: 澳大利亚新*** 国省代码: 澳大利亚;AU
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摘要:
搜索关键词: 可光固化材料 照射 光聚合物 微结构图案 聚合物 去除 强度分布 曝光 固化 施加 光引发剂 交通工具 蚀刻基板 衍射光栅 喷嘴 未固化 掩蔽基 照射光 分束 基板 掩模 激活 图案 辐射 保留 飞机 汽车
【说明书】:

在一个方面中,公开了提供了一种在飞机、船、汽车或其它交通工具的外表面上产生微结构图案的方法。通过喷嘴(45)将一层光聚合物(44)施加到顶涂层或基板(43)上。选择性地照射光聚合物以激活其光引发剂,并去除未照射的聚合物。照射可以通过不与聚合物接触的掩模(49)或经由分束布置(63、64)或衍射光栅(71)进行。可以通过原位保留曝光的光聚合物,或使用曝光的光聚合物来掩蔽基板,蚀刻基板,然后去除曝光的光聚合物来形成图案。在另一方面中,提供了一种方法1100,包括将可光固化材料的层施加到外表面的步骤1102,用包括预定照射强度分布的辐射照射可光固化材料的步骤1104,以及去除未固化的可光固化材料以形成微结构图案的步骤1106。照射引发照射的可光固化材料的固化,导致跨越可光固化材料的层的固化深度分布对应于选择的强度分布。

技术领域

本公开涉及一种用于图案化表面上的微结构的方法和系统。更具体地,本公开涉及图案化外表面上的微结构。在一种布置中,本发明提供了一种交通工具外表面上的顶涂层上的微结构图案。

背景技术

现代飞机的燃油消耗很大程度上取决于飞机经受的阻力。类似的考虑适用于船和汽车。一段时间以来就知道,通过在表面上形成微结构图案可以减小空气动力学表面的阻力。

本说明书中对任何现有技术的引用不是也不应被视为承认或任何形式的暗示,即该现有技术构成任何司法权的公知常识的一部分,或者该现有技术可合理地被预期为理解为被本领域技术人员认为是与其它部分的现有技术相关和/或组合。

发明内容

根据本发明的第一方面,公开了一种在交通工具的外表面上提供微结构图案的方法,所述方法包括以下步骤:

将一层可光固化材料施加到所述外表面上,所述可光固化材料包括光引发剂;

选择性地照射所述可光固化材料以仅在照射的可光固化材料的层的那些区域中激活所述光引发剂;

去除未照射的可光固化材料或经照射的可光固化材料,

其中施加和照射步骤两者都不包括与所述可光固化材料的层接触的掩模。

优选地,可光固化材料是光聚合物。

根据本发明的第二方面,公开了一种在外表面上提供微结构图案的方法,所述方法包括以下步骤:

将一层可光固化材料施加到外表面上;

用包括预定照射强度分布的辐射照射可光固化材料以引发照射的可光固化材料的固化,所述固化引起穿过可光固化材料的层的固化深度分布对应于选择的强度分布;和

去除未固化的可光固化材料以形成微结构图案。

根据本公开的其它方面,还公开了用于在外表面上提供微结构图案的对应系统。

附图说明

现在仅通过实例的方式并参考附图描述本公开的布置,其中:

图1是照射之前和之后的光聚合物的示意图;

图2是在制造微结构图案的连续过程中使用的现有技术滚动光刻装置的示意性透视图,其中掩模与光聚合物接触;

图3是穿过图2的装置的圆筒的横截面图;

图4是第二现有技术的示意性侧视图,其可被称为Fraunhofer技术并且其中网状微结构成型器或模具与光聚合物接触;

图5是示出了图4的布置的一些细节的放大图;

图6是根据本公开的布置的辊装置的示意性截面图,其中掩模极为接近于光聚合物但不与光聚合物接触;

图7是图6的一部分的放大图,详细显示了其部件;

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