[发明专利]吸附剂与流体供应包装及包括其的设备

权利要求书

1.一种用于供应流体以供使用的组合物，其包括使硅烷或乙硅烷可逆地吸附于其上的吸附剂，其中所述吸附剂包括选自由氧化钛、氧化锆、硅质岩及金属有机架构MOF材料组成的群组的材料，其中所述吸附剂呈多孔性，其中至少40％的细孔具有小于1nm的尺寸，且其中当所述流体包括硅烷或乙硅烷时，所述吸附剂任选地包括硅石。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中所述流体包括硅烷。

3.根据权利要求1所述的组合物，其中所述吸附剂包括使硅烷可逆地吸附于其上的硅质岩或硅石。

4.根据权利要求1所述的组合物，其中所述吸附剂呈选自由粉末、珠粒、丸粒、锭、硬凝块及单块组成的群组的形式。

5.一种流体供应包装，其包括含有根据权利要求1到4中任一权利要求所述的组合物的流体存储及施配容器，及经配置以在施配条件下从所述容器施配流体的施配组合件。

6.根据权利要求5所述的流体供应包装，其中所述施配组合件经配置以在亚大气施配条件下从所述容器施配流体。

7.一种供应流体以供流体利用工具使用的方法，其包括：

从流体供应包装施配硅烷或乙硅烷，所述流体供应包装包括包含使所述流体可逆地吸附于其上的吸附剂的吸附剂组合物，其中所述吸附剂包括选自由氧化钛、氧化锆、硅质岩及金属有机架构MOF材料组成的群组的材料，其中所述吸附剂呈多孔性，其中至少40％的细孔具有小于1nm的尺寸。

8.根据权利要求7所述的方法，其进一步包括使所述吸附剂组合物暴露于减小压力及从所述吸附剂组合物解吸所述流体。