[发明专利]吸附剂与流体供应包装及包括其的设备

说明书

本发明描述不同类型及形式的吸附剂，如有用地用于气体供应包装中，所述气体供应包装包含盛放此吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述气体供应包装排放所述吸附气体的气体施配组合件。同样描述对应气体供应包装，及处理所述吸附剂，及制造所述气体供应包装的各种方法。

相关申请案

本申请案主张2015年11月7日申请的第62/252,437号美国临时申请案的权益及优先权，所述美国申请案出于所有目的以全文引用方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及可用作用于流体的可逆存储介质的吸附剂，流体可经吸附于所述吸附剂上以供存储，且吸附流体可从所述吸附剂解吸以供后续使用或安置。本发明进一步涉及包括吸附剂作为流体存储介质的流体供应包装，且涉及包括其的设备。

背景技术

基于吸附剂的流体供应包装已在半导体制造及其它产业中广泛商业化，其中流体经可逆地吸附在固相物理吸附剂上以存储于其上，且在流体施配条件下从吸附剂解吸以提供流体以供使用。此类流体供应包装的实例包括商业上可购自Entegris,Inc.(英特格公司)(美国马萨诸塞州比尔里卡)、依据商标SDS、PDS、Pure Delivery System及SAGE的所述流体供应包装。

各种类型的吸附剂已用于此类流体供应包装中。碳吸附剂经广泛利用，且可形成有变化多孔性、孔径、孔径分布、吸附亲和力、流体特异性、块体密度、粒子或件尺寸、形状及其它特性，从而致使所述碳吸附剂非常有利于用于流体供应包装中。

所属领域正在继续努力开发用于流体供应包装中的吸附剂，以及开发流体供应包装，其中此类吸附剂用作用于流体在流体存储条件下的吸附保留且用于流体在流体施配条件下的解吸释放的介质。

发明内容

本发明涉及可用作可逆流体存储及施配介质的吸附剂，以及涉及流体供应包装及包括其的设备，且涉及制作并使用此类吸附剂、流体供应包装及设备的方法。

一方面，本发明涉及一种用于供应流体以供使用的组合物，其包括使流体可逆地吸附于其上的吸附剂，其中吸附剂包括选自由氧化钛、氧化锆、硅质岩、金属有机架构(MOF)材料及聚合物架构(PF)材料组成的群组的材料，其中流体包括用于制造半导体产品、平板显示器、太阳能面板或其组件或子组合件的流体，且其中当流体包括硅烷或乙硅烷时，吸附剂可额外地包括硅石。在特定方面中，流体包括选自由硅烷、乙硅烷、锗烷、乙硼烷及乙炔组成的群组的流体。

本发明的另一方面涉及一种用于供应硅烷以供使用的组合物，其包括使硅烷可逆地吸附于其上的硅石或硅质岩。

本发明的另一方面涉及一种流体供应包装，其包括含有如上文所描述的组合物的流体存储及施配容器，及经配置以在施配条件下从容器施配流体的施配组合件。

另一方面，本发明涉及一种供应流体以供使用的方法，其包括使如上文描述的组合物经受施配条件。

本发明的又另一方面涉及一种供应流体以供使用的方法，其包括在施配条件下从如上文描述的流体供应包装施配流体。

本发明的另一方面涉及一种制造选自由半导体产品、平板显示器、太阳能面板及其组件及子组合件组成的群组的产物的方法，此方法包括在此方法的制造操作中使用从如上文描述的组合物解吸的流体。

本发明的另一方面涉及一种制造选自由半导体产品、平板显示器、太阳能面板及其组件及子组合件组成的群组的产物的方法，此方法包括在此方法的制造操作中使用从如上文描述的流体供应包装施配的流体。