[发明专利]基于形状的分组

权利要求书

1.一种系统，其包括：

检视工具；及

控制器，其与所述检视工具电子通信，

其中，所述检视工具包含：

载物台，其经配置以固持晶片；及

图像产生系统，其经配置以产生所述晶片的图像；且

其中，所述控制器经配置以：

请求设计多边形，所述设计多边形位于以所述晶片的一或多个缺陷位置为中心的视野中；

呈现展示所述视野中的所述设计多边形的二进制图像；

提取界定设计的局部拓朴及几何性质的形状基元；且

使用规则执行引擎将至少一个规则应用于所述形状基元，其中所述规则执行引擎搜索由所述至少一个规则涵盖的所述形状基元，且其中所述规则对应于缺陷的存在。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制器包含处理器以及与所述处理器及电子数据存储单元电子通信的通信端口。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述检视工具是宽带等离子工具。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述图像产生系统经配置以使用电子束、宽带等离子或激光中的至少一个来产生所述晶片的所述图像。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制器进一步经配置以使用所述规则执行引擎产生基于形状的分组分级。

6.根据权利要求1所述的系统，所述规则应用于所述晶片的多个层上的所述形状基元。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述规则应用于规则互动窗中。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制器进一步经配置以针对所述缺陷位置的群体推断一或多个额外规则。

9.一种方法，其包括：

使用控制器请求设计多边形，所述设计多边形位于以晶片的一或多个缺陷位置为中心的视野中；

使用所述控制器呈现展示所述视野中的所述设计多边形的二进制图像；

使用所述控制器提取界定设计的局部拓朴及几何性质的形状基元；且

使用规则执行引擎将至少一个规则应用于所述形状基元，其中所述规则执行引擎搜索由所述至少一个规则涵盖的所述形状基元，且其中所述规则对应于缺陷的存在。

10.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括使用所述控制器用所述规则执行引擎产生基于形状的分组分级。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述规则应用于所述晶片的多个层上的所述形状基元。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述规则应用于规则互动窗中。

13.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括针对所述缺陷位置的群体推断一或多个额外规则。

14.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括：

将所述晶片装载到检视工具的载物台上；及

使所述载物台上的所述晶片成像。

15.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括：

确定所出现的由所述至少一个规则涵盖的所述形状基元的至少一个位置；

将所述至少一个位置转换为经配置以基于所述规则及临界性将灵敏度指派到不同区域的图；及

将所述至少一个位置处的所述缺陷分级化。