[发明专利]保持基板的保持布置、支撑基板的载体、沉积系统、保持基板的方法和释放基板的方法

权利要求书

1.一种用于保持基板的保持布置，包括：

主体部分(110)，具有第一侧(112)；

干燥粘合剂材料(120)，设于所述主体部分(110)的所述第一侧(112)上，所述干燥粘合剂材料包括多个大体上纵向的构件，每个纵向的构件具有第二侧，所述第二侧没有附接于所述主体部分并且沿着所述大体上纵向的构件的长度方向从所述主体部分延伸出去，所述第二侧沿着所述长度方向相对于所述第一侧，所述大体上纵向的构件的最长的尺寸是所述大体上纵向的构件的所述长度；

密封件(130)，环绕所述干燥粘合剂材料(120)并且经构造以在所述第一侧(112)上提供真空区域，其中所述干燥粘合剂材料(120)设于所述真空区域中；和

导管(140)，用于抽空所述真空区域，

其中所述干燥粘合剂材料(120)经构造以通过使基板(10)朝向所述主体部分(110)移动，将所述基板从所述主体部分(110)释放。

2.如权利要求1所述的保持布置，其中所述干燥粘合剂材料(120)经构造以在向所述真空区域施加第一压力(p1)的情况下，将所述基板(10)附接于所述主体部分(110)，所述第一压力小于大气压力。

3.如权利要求2所述的保持布置，其中所述干燥粘合剂材料(120)经构造以在向所述真空区域施加第二压力(p2)以增加将所述基板(10)压至所述干燥粘合剂材料(120)上的力的情况下，将所述基板(10)从所述主体部分(110)释放，所述第二压力小于大气压力。

4.如权利要求3所述的保持布置，其中所述第一压力(p1)小于1巴，并且/或者其中所述第二压力(p2)小于所述第一压力(p1)，并且/或者其中所述第二压力(p2)大于0巴。

5.如权利要求1至4中任一项所述的保持布置，其中所述干燥粘合剂材料(120)是合成刚毛材料和/或壁虎粘合剂。

6.如权利要求1或4所述的保持布置，其中所述导管(140)经构造以连接于抽吸口，以向所述真空区域施加负压。

7.一种用于在真空处理腔室中的基板处理期间保持基板的保持布置，包括：

主体部分(110)，具有第一侧(112)；

干燥粘合剂材料(120)，设于所述主体部分(110)的所述第一侧(112)上，并且所述干燥粘合剂材料包括多个细丝(122)；

密封件(130)，环绕所述干燥粘合剂材料(120)，并且经构造以在所述第一侧(112)上提供真空区域，其中所述干燥粘合剂材料(120)设于所述真空区域中；和

导管(140)，用于抽空所述真空区域，

其中所述导管(140)经构造以向所述真空区域施加第一压力(p1)，以附接所述基板(10)，所述第一压力小于大气压力，并且其中所述导管(140)经构造以向所述真空区域施加小于大气压力的第二压力(p2)，以使所述基板(10)移动至更靠近所述主体部分，以使所述多个细丝(122)屈曲，从而释放所述基板(10)。

8.一种用于支撑基板的载体，包括：

载体主体(210)；和

如权利要求1至4中任一项所述的一个或多个保持布置(100)，其中所述一个或多个保持布置(100)安装于所述载体主体(210)上。

9.一种用于支撑基板的载体，包括：

载体主体(210)；和

如权利要求7所述的一个或多个保持布置(100)，其中所述一个或多个保持布置(100)安装于所述载体主体(210)上。

10.一种沉积系统，包括如权利要求8所述的载体(200)。