[发明专利]激光处理设备及激光处理方法在审
申请号: | 201680076632.3 | 申请日: | 2016-09-06 |
公开(公告)号: | CN108449937A | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 都尚会;李垧珉 | 申请(专利权)人: | EO科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;B23K26/38;B23K26/70;B23Q11/00 |
代理公司: | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人: | 仲伯煊 |
地址: | 韩国京畿道*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷射冷却流体 激光照射部 激光处理设备 激光加工装置 激光处理 冷却喷头 照射区域 激光束 喷嘴部 包围 | ||
1.一种激光加工装置,其特征在于,包括:
第一激光照射部;以及
冷却喷头,具有喷射冷却流体的多个喷嘴部,以包围借由所述第一激光照射部而形成的激光束的照射区域的方式喷射所述冷却流体。
2.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,在远离所述激光束的所述照射区域的中心部相同距离的距离喷射所述冷却流体。
3.如权利要求1所述的激光加工装置,其中其特征在于,自所述多个喷嘴部喷射的所述冷却流体的喷射方向与所述激光束的照射方向一致。
4.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,更包括:喷射方向调节部,所述喷射方向调节部对所述多个喷嘴部所喷射的所述冷却流体的喷射方向进行调整。
5.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,更包括:控制部,所述控制部根据所述激光束的所述照射区域的面积对所述喷射方向调节部进行控制而调整所述冷却流体的喷射方向。
6.如权利要求5所述的激光加工装置,其特征在于,所述控制部对所述多个喷嘴部所喷射的所述冷却流体的流量进行调节。
7.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,更包括:第二激光照射部,所述第二激光照射部与所述第一激光照射部隔以特定的间隔而配置至前方。
8.如权利要求7所述的激光加工装置,其特征在于,所述第一激光照射部及所述第二激光照射部为CO2激光照射部。
9.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述冷却流体包括水或酒精中的至少一种。
10.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,更包括:移送所述第一激光照射部及所述冷却喷头的移送部。
11.如权利要求10所述的激光加工装置,其特征在于,借由所述移送部而沿直线方向及具有曲率的方向移送所述第一激光照射部及所述冷却喷头。
12.一种激光加工方法,其特征在于,包括:
输入包括曲率的基板的预切割线的步骤;以及
使第一激光照射部及多个喷嘴部沿所述预切割线移动的步骤。
13.如权利要求12所述的激光加工方法,其特征在于,更包括:
确定借由所述第一激光照射部而形成的第一激光束的照射区域的步骤;及
确定所述多个喷嘴部喷射角度的步骤。
14.如权利要求13所述的激光加工方法,其特征在于,更包括:确定自所述多个喷嘴部喷射的冷却流体的喷射流量的步骤。
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