[发明专利]放射线检测器在审
申请号: | 201680077174.5 | 申请日: | 2016-12-14 |
公开(公告)号: | CN108476294A | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 鬼桥浩志 | 申请(专利权)人: | 东芝电子管器件株式会社 |
主分类号: | H04N5/32 | 分类号: | H04N5/32;G01T7/00;H01L27/144;H01L27/146;H01L29/786;H04N5/353 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 信号检测电路 控制线 薄膜晶体管 电连接 基板 放射线检测器 数据线电连接 光电转换部 方向延伸 基准电位 截止状态 判定部 数据线 光电转换元件 数据线检测 导通状态 开始时刻 控制电路 放射线 检测 入射 相交 判定 | ||
实施方式的放射线检测器包括:基板;设置在所述基板上并向第一方向延伸的多条控制线;设置在所述基板上并向与所述第一方向相交的第二方向延伸的多条数据线;光电转换部,该光电转换部设置于由所述多条控制线和所述多条数据线划分成的多个区域中的每一个,并具有与对应的所述控制线以及对应的所述数据线电连接的薄膜晶体管和光电转换元件;与所述多条控制线电连接并对多个所述薄膜晶体管的导通状态和截止状态进行切换的控制电路;与所述多条数据线电连接的信号检测电路;与所述信号检测电路电连接的基准电位部;以及与所述信号检测电路电连接的判定部。所述信号检测电路在所述薄膜晶体管处于截止状态时,经由所述数据线检测第一电流积分值,并且对来自所述基准电位部的第二电流积分值进行检测。所述判定部基于检测到的所述第一电流积分值与所述第二电流积分值之差来判定放射线的入射开始时刻。
技术领域
本发明的实施方式涉及一种放射线检测器。
背景技术
放射线检测器的一个例子包括X射线检测器。X射线检测器中例如设置有具有多个光电转换部(也被称为像素等)的阵列基板、以及设置在多个光电转换部上并将X射线转换为荧光的闪烁体。此外,光电转换部中设置有将来自闪烁体的荧光转换为信号电荷的光电转换元件、对信号电荷的储存和释放进行开关的薄膜晶体管、以及储存信号电荷的存储电容器等。
通常,X射线检测器如以下那样读取信号电荷。首先,利用从外部输入的信号识别X射线的入射。接着,在经过预先确定的时间(为了存储信号电荷所需要的时间)以后,使进行读取的光电转换部的薄膜晶体管变为导通状态,利用积分放大器将所存储的信号电荷转换成电压来进行读取。
然而,这种情况下,X射线检测器的动作开始取决于来自外部设备的信号,因此需要与来自外部设备的信号(例如对被来自X射线源等的X射线照射了这一情况进行通知的信号)获得同步的外部电路。若设置外部电路则容易受到噪声等的影响,而在无法与X射线照射进行电路同步的情况下,可能会无法获取X射线图像。
这里,若对作为半导体元件的薄膜晶体管照射X射线,则由于光电效应,会在漏极电极与源极电极之间流过电流。此外,薄膜晶体管的漏极电极与数据线电连接。为此提出了如下技术:通过检测在被照射了X射线时流过数据线的电流积分值与未被照射X射线时流过数据线的电流积分值的差,来检测X射线的入射开始时刻。
然而,这种情况下,需要求出被检测到的电流积分值与前一个被检测到的电流积分值的差。在前一个被检测到的电流积分值稍低于阈值的情况下,流过数据线的电流积分值的差变小,有时会无法检测出X射线。此外,在转换成电压时,若存在低频噪声等干扰噪声,则各积分放大器的电压值会偏移。因此,低频噪声等干扰噪声的影响变大,有可能难以高精度地检测X射线的入射开始时刻。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特表2014-526178号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
本发明所要解决的课题在于提供一种能高精度地检测放射线的入射开始时刻的放射线检测器。
解决技术问题的技术方案
实施方式的放射线检测器包括:基板;设置在所述基板上并向第一方向延伸的多条控制线;设置在所述基板上并向与所述第一方向相交的第二方向延伸的多条数据线;光电转换部,该光电转换部设置于由所述多条控制线和所述多条数据线划分成的多个区域中的每一个,并具有与对应的所述控制线以及对应的所述数据线电连接的薄膜晶体管和光电转换元件;与所述多条控制线电连接并对多个所述薄膜晶体管的导通状态和截止状态进行切换的控制电路;与所述多条数据线电连接的信号检测电路;与所述信号检测电路电连接的基准电位部;以及与所述信号检测电路电连接的判定部。
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